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J-GLOBAL ID:201702212465116171   整理番号:17A0219493

アルミナグリットブラスト法による触媒担持層を用いたカーボンナノチューブの新規成長法

Novel growth method of carbon nanotubes using catalyst-support layer developed by alumina grit blasting
著者 (3件):
資料名:
巻: 27  号: 33  ページ: 335605,1-10  発行年: 2016年08月19日 
JST資料番号: W0108A  ISSN: 0957-4484  CODEN: NNOTER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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本稿では,微細アルミナ粒子を用いたグリットブラスト表面処理を付加した浮遊鉄触媒化学蒸着(CVD)による様々な金属,合金,および炭素材料上へのカーボンナノチューブ(CNT)アレイを成長する効率的方法について報告した。基板材料として,Cu,Ag,Au,Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Pd,Pt,ステンレス鋼,ジルコニウム合金,および等方性グラファイトの18種類の導電性材料を用いて,提案した方法によるCNT成長実験を実施した。走査型電子顕微鏡および透過型電子顕微鏡により,基板上に成長したCNTの形態を調べた。その結果,著者等は,提案し方法が,全ての試験基板材料のグリットブラストした表面上に多層CNTアレイを成長することに成功し,その多様性を実証した。
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分類 (3件):
分類
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炭素とその化合物  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  薄膜成長技術・装置 
タイトルに関連する用語 (5件):
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