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J-GLOBAL ID:201702212572247621   整理番号:17A1380877

輝く酸素プラズマと平衡気体の界面内の酸素原子密度【Powered by NICT】

Oxygen atom density within the interface between glowing oxygen plasma and equilibrium gas
著者 (4件):
資料名:
巻: 143  ページ: 158-164  発行年: 2017年 
JST資料番号: E0347A  ISSN: 0042-207X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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マイクロ波放電は導波路に垂直に搭載された非常に非平衡なプラズマと中性ガス熱平衡に近づく間の界面内のO原子密度の挙動を調べるために長い石英管の中央部に設立された。可動触媒プローブはドリフト速度のドリフトガスの上流約1.5ms~ 1搭載暗非平衡気体中のO原子密度の勾配を決定することであった。放電管の軸での勾配は,灼熱プラズマからの距離が増すと減少した。4Lh~( 1)のガス流と1000Wの放電電力で勾配がプラズマ周辺に近い約7×10~22m~ 3/mが,プラズマ端から離れた10cm,約1×10~22m~ 3/mであった。プローブの固定位置が異なるガス流と放電パワーでO原子密度の挙動は,界面で測定した,O原子の不均一表面再結合のための異なる係数の試料を搭載した。O原子密度は入力の増加とともに増加し,ガス流1.5L時間~( 1)で最大を示し,材料の種類への強い依存性を定性的に見出され,説明した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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