文献

J-GLOBAL ID：201702212876068124   整理番号：17A1627456

マイクロ波支援スプレー熱分解により堆積した酸化インジウムすず薄膜の物理的性質に関する研究【Powered by NICT】

Study on the physical properties of indium tin oxide thin films deposited by microwave-assisted spray pyrolysis

著者 (25件)： Zhang Lihua (State Key Laboratory of Complex Nonferrous Metal Resources Clean Utilization, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Zhang Lihua (Faculty of Metallurgical and Energy Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Zhang Lihua (Key Laboratory of Unconventional Metallurgy, Ministry of Education, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Lan Jianbo (State Key Laboratory of Complex Nonferrous Metal Resources Clean Utilization, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Lan Jianbo (Faculty of Metallurgical and Energy Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Lan Jianbo (Key Laboratory of Unconventional Metallurgy, Ministry of Education, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Yang Jianyu (Mineral Resources Department, Yunnan Tin Company Group Limited, Kunming, 650200, China) ,  Guo Shenghui (State Key Laboratory of Complex Nonferrous Metal Resources Clean Utilization, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Guo Shenghui (Faculty of Metallurgical and Energy Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Guo Shenghui (Key Laboratory of Unconventional Metallurgy, Ministry of Education, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Peng Jinhui (State Key Laboratory of Complex Nonferrous Metal Resources Clean Utilization, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Peng Jinhui (Faculty of Metallurgical and Energy Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Peng Jinhui (Key Laboratory of Unconventional Metallurgy, Ministry of Education, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Zhang Libo (State Key Laboratory of Complex Nonferrous Metal Resources Clean Utilization, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Zhang Libo (Faculty of Metallurgical and Energy Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Zhang Libo (Key Laboratory of Unconventional Metallurgy, Ministry of Education, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Tian Shihong (State Key Laboratory of Complex Nonferrous Metal Resources Clean Utilization, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Tian Shihong (Faculty of Metallurgical and Energy Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Tian Shihong (Key Laboratory of Unconventional Metallurgy, Ministry of Education, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Ju Shaohua (State Key Laboratory of Complex Nonferrous Metal Resources Clean Utilization, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Ju Shaohua (Faculty of Metallurgical and Energy Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Ju Shaohua (Key Laboratory of Unconventional Metallurgy, Ministry of Education, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Xie Wenbin (State Key Laboratory of Complex Nonferrous Metal Resources Clean Utilization, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Xie Wenbin (Faculty of Metallurgical and Energy Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming, Yunnan 650093, China) ,  Xie Wenbin (Key Laboratory of Unconventional Metallurgy, Ministry of Education, Kunming, Yunnan 650093, China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 728  ページ： 1338-1345  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透明導電性酸化インジウムスズ(ITO)薄膜をマイクロ波支援噴霧熱分解法により石英基板上に堆積することに成功した。マイクロ波加熱は内部加熱,迅速で均一加熱の新しい条件のために高品質の膜を調製するために熱分解プロセスに有利であった。結晶構造,形態,光学的および電気的性質に及ぼすマイクロ波熱分解温度(300 700 °C)の影響を調べた。X線回折の結果は,種々の温度での(222)または(400)方向に沿った成長の優先配向がすべての堆積した膜のための純粋および正方晶多結晶相の形成を確認した。500°Cでのマイクロ波熱分解温度を最適化することにより,走査電子顕微鏡と原子間力顕微鏡の結果は,狭いサイズ分布と低い粗さを有するナノ粒子からなる318nm厚膜の形成を示した。堆積したままのITO薄膜は高い光学的および電気的特性,平均光透過率は可視領域で86.4%(裸の基板の90.1%を含む)を示し,シート抵抗と抵抗率は11.11Ω/□と3.54×10~ 4Ωcmであった。バンドギャップは3.78 3.91eVの範囲で測定した。Haackeの性能指数は,500°Cで堆積したITO膜の33.73×10~ 3Ω~ 1の最大値に達した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *酸化インジウム ,  酸化インジウムスズ ,  優先配向 ,  結晶構造 ,  *スズ ,  シート抵抗 ,  走査電子顕微鏡 ,  *薄膜 ,  電気抵抗率 ,  *マイクロ波 ,  バンドギャップ ,  X線回折 ,  *熱分解
準シソーラス用語： 光透過率 ,  *スプレー熱分解 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： インジウムすず酸化物 ,  薄膜 ,  マイクロ波熱分解 ,  透明導電性酸化物 ,  光学的および電気的性質

分類 (2件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： マイクロ波 ,  支援 ,  スプレー熱分解 ,  堆積 ,  酸化インジウムすず ,  薄膜 ,  物理的性質 ,  研究