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J-GLOBAL ID：201702213003124534   整理番号：17A1096290

超音波噴霧熱分解によって調製したメリット透明導電性SbドープSnO_2薄膜の高指数【Powered by NICT】

High figure of merit transparent conducting Sb-doped SnO₂ thin films prepared via ultrasonic spray pyrolysis

著者 (5件)： Fauzia Vivi (Department of Physics, Universitas Indonesia, Kampus UI Depok, Depok, 16424, Jawa Barat, Indonesia) ,  Yusnidar M.N. (Department of Physics, Universitas Indonesia, Kampus UI Depok, Depok, 16424, Jawa Barat, Indonesia) ,  Lalasari Latifa Hanum (Research Center for Metallurgy and Materials, LIPI, Kawasan Puspiptek GD. 470, Tangerang Selatan, 15314, Banten, Indonesia) ,  Subhan Achmad (Research Center for Physics, LIPI, Kawasan Puspiptek, Tangerang Selatan, 15314, Banten, Indonesia) ,  Umar Akrajas Ali (Institute of Microengineering and Nanoelectronics (IMEN), Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600, UKM Bangi, Selangor, Malaysia)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 720  ページ： 79-85  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ドープしたすず酸化物は透明導電性酸化物層中のインジウムスズ酸化物の代替としてのその可能性のために広く研究されている。アンチモンドープ酸化スズ(ATO)は,この点で最も有望な材料の一つである,可視領域における優れた透明性と電気特性の改善のための広い範囲に起因した。本論文では,単純な,低コスト超音波スプレー熱分解法を用いた高導電性透明ATO薄膜の作製を報告した。5.8×10 5Ωcmの抵抗率,550nmで88%の透過率,および47.22×10 2(Ω/cm~2)~ 1と高い性能を有する膜は,蒸着時間を調整することによって作製した。本実験で生成されたATO膜はインジウムスズ酸化物のそれに匹敵する性能を持つ透明導電性膜として使用されるかもしれない。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電気特性 ,  *ドーピング ,  透過率 ,  インジウム ,  *超音波 ,  *薄膜 ,  酸化スズ ,  *導電性 ,  電気抵抗率
準シソーラス用語： 導電膜 ,  超音波スプレー熱分解 ,  透明性 ,  可視領域 ,  透明導電性酸化物 ,  *噴霧熱分解法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： Semiconductors ,  薄膜 ,  化学合成 ,  超音波スプレー熱分解 ,  光学的性質 ,  X線回折

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (9件)： 超音波噴霧 ,  熱分解 ,  調製 ,  メリット ,  導電性 ,  Sb ,  ドープ ,  薄膜 ,  指数