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J-GLOBAL ID：201702213078198762   整理番号：17A1021431

プラズマ基イオン注入兼蒸着で蒸着した非晶質炭素膜のトライボロジー特性に及ぼす塩素ドーピングの影響【Powered by NICT】

Effect of chlorine doping on tribological properties of amorphous carbon films deposited by plasma-based ion implantation and deposition

著者 (5件)： Tokuta Yuuki (Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute, Japan) ,  Itoh Takashi (FUJIMETAL Co. Ltd., Japan) ,  Shiozaki Takahiko (FUJIMETAL Co. Ltd., Japan) ,  Kawaguchi Masahiro (Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute, Japan) ,  Sasaki Shinya (Tokyo University of Science, Japan)
資料名： Tribology International  (Tribology International)
巻： 113  ページ： 377-382  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0409B  ISSN： 0301-679X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質炭素膜のトライボロジー特性を改善するための多くの努力が報告されている。塩素ドーピングを用い非潤滑条件下で非晶質炭素膜の摩擦係数を低減した。これは膜と対向部品の間の滑り界面での,塩素化トライボ膜のような,塩素化合物を形成する。摩擦試験は,より低い摩擦係数と水素化非晶質炭素膜と比較して塩素含有非晶質炭素膜の低いattackabilityを示した。飛行時間二次イオン質量分光法(TOF SIMS)は塩素含有非晶質炭素膜の摩耗痕跡塩素化化合物は,これらの膜の摩擦特性を改善することを示唆に沿った塩素結合イオンの存在を確認した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 摩擦試験 ,  *塩素 ,  塩素化 ,  *非晶質 ,  水素化 ,  *プラズマ ,  摩擦係数 ,  *イオン注入 ,  界面 ,  *蒸着
準シソーラス用語： 摩擦特性 ,  摩耗痕 ,  トライボ膜 ,  *トライボロジー特性 ,  *炭素膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 被覆 ,  自己潤滑 ,  ダイヤモンド状

分類 (2件)： 潤滑一般  (QB02010S) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (8件)： プラズマ ,  イオン注入 ,  蒸着 ,  非晶質 ,  炭素膜 ,  トライボロジー特性 ,  塩素 ,  ドーピング