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J-GLOBAL ID：201702213145698791   整理番号：17A0381605

サブ100MHzプログラマブル発振器応用のための高Q低インピーダンスWLCSP共振器【Powered by NICT】

High Q low inpedance WLCSP resonator for sub-100 MHZ programmable oscillator application

著者 (9件)： Wu Guoqiang (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research (A*STAR), Singapore) ,  Xu Jinghui (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research (A*STAR), Singapore) ,  Zhang Xiaolin (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research (A*STAR), Singapore) ,  Wang Nan (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research (A*STAR), Singapore) ,  Yan Danlei (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research (A*STAR), Singapore) ,  Lim Jayce Lay Keng (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research (A*STAR), Singapore) ,  Zhu Yao (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research (A*STAR), Singapore) ,  Li Wei (Exploit Technologies Pte Ltd (ETPL), Agency for Science, Technology and Research (A*STAR), Singapore) ,  Gu Yuandong (Institute of Microelectronics, Agency for Science, Technology and Research (A*STAR), Singapore)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 913-916  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン圧電共振器に高性能窒化アルミニウム(AlN)を本論文で報告した。共振器はアルミニウムゲルマニウム(Al Ge)共晶接合法によるウエハレベルチップスケールパッケージング(WLCSP)を用いて共振器シリコン・オン・インシュレータ(SOI)プラットフォームと真空カプセル化上のAlNに基づいて作製した。ダイシング後,共振器は0.6×0.6×0.7mm~3の魅力的なコンパクトサイズを持っている。作製した共振器は,9517の品質因子(Q)と27.19MHzの共振周波数で51Ωのインピーダンスを達成した。測定された周波数ドリフトは1000熱サイクル( 45°C,85°C)後に30ppmの範囲である。熱サイクルにより著明なインピーダンス変化は観測されなかった。圧電共振器に基づくプログラマブル発振器は70°Cから 20°Cの温度範囲で3ppmの周波数ドリフトを示し,受動的および能動的温度補償アプローチのためである。この安定な周波数基準を用いて,プログラマブル発振器は12kHz~10MHzから2.21psの統合位相ジッタと76.4MHzの周波数出力を生成する。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 共振周波数 ,  *発振器 ,  ジッタ ,  周波数 ,  ケイ素 ,  温度補償 ,  *インピーダンス ,  ドリフト ,  *共振器 ,  熱サイクル ,  窒化アルミニウム
準シソーラス用語： 周波数標準 ,  品質因子 ,  圧電共振器 ,  *WLCSP , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： サブ ,  発振器 ,  応用 ,  低インピーダンス ,  WLCSP ,  共振器