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J-GLOBAL ID：201702213219865611   整理番号：17A0527245

修正電気機械振幅変調法を用いたMEMS振動型ジャイロスコープに対する新しい振動制御

A novel oscillation control for MEMS vibratory gyroscopes using a modified electromechanical amplitude modulation technique

著者 (5件)： MA Wei (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  LIN Yiyu (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  LIU Siqi (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  ZHENG Xudong (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  JIN Zhonghe (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 27  号： 2  ページ： 025005,1-11  発行年： 2017年02月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,MEMS振動型ジャイロスコープに対して,修正電気機械振幅変調(MEAM)を用いた新しい振動制御アルゴリズムを提案した。このMEAMでは,プルーフマスに働くキャリア電圧は,周波数が元のキャリア周波数と時間変動駆動周波数の和に等しい周波数変調信号である。その結果,インターフェイス電子部の後の情報検出信号は,駆動モード周波数変化に関係なく元の定キャリア周波数となり固定電気位相遅延に変換される。PLLおよびAGCから構成された非線形制御システムの詳細な理論解析を行った。実システムに基づくシミュレーションモデルを,制御アルゴリズムを評価するために構成した。そして,提案MEAM法をMEMS振動型ジャイロスコープに対してFPGAベースのディジタルプラットホームを用いて試験した。

シソーラス用語： *ジャイロスコープ ,  検出 ,  電気機械効果 ,  振幅変調 ,  *振動制御 ,  遅れ ,  位相同期ループ ,  AGC回路 ,  非線形制御系 ,  シミュレーションモデル
準シソーラス用語： *MEMSジャイロスコープ ,  振動検出 ,  位相遅延

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  制御応用一般  (IC03010U)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電気機械 ,  振幅変調 ,  MEMS ,  振動型ジャイロ ,  振動制御