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J-GLOBAL ID：201702213471913690   整理番号：17A1971354

ナノ結晶Cuベース合金薄膜の微細構造と機械的性質に及ぼす合金化効果:相溶性Cu-Tiと非混和性Cu-Mo【Powered by NICT】

Alloying effects on the microstructure and mechanical properties of nanocrystalline Cu-based alloyed thin films: Miscible Cu-Ti vs immiscible Cu-Mo

著者 (7件)： Zhang J.Y. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Zhao J.T. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Li X.G. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Wang Y.Q. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Wu K. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Liu G. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Sun J. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China)
資料名： Acta Materialia  (Acta Materialia)
巻： 143  ページ： 55-66  発行年： 2018年 
JST資料番号： A0316A  ISSN： 1359-6454  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 合金化法によるナノ結晶Cu薄膜の機械的性能を最適化するための微細構造の調整マイクロデバイスへの応用のために極めて重要である。本研究では,著者らはナノ結晶性相溶性Cu-Tiと非混和性のCu-Mo合金薄膜を作製した混合エンタルピーを用いて,Cu薄膜の微細構造と機械的性質に及ぼす合金化効果を調べた。TiとMoの両方のドーパントは結晶粒を微細化し,特に溶質の臨界含有量,それを超えるとナノ双晶の形成は著しく抑制される以下のナノ双晶の形成を促進することができることが分かった。Cu-TiとCu-Mo合金薄膜で観測された非単調溶質濃度依存性双晶化挙動を部分転位の誘導すべりプロセスに影響する粒径と粒界偏析したドーパントの間の結合効果により説明される。溶質含有量の増加と共にCu-TiとCu-Mo両系の硬さの増加はいくつかの強化機構,固溶強化,結晶粒/双晶境界(GB/TB)強化,溶質偏析誘起強化を含むを組み合わせることにより定量的に説明した。は予想外に溶質含有量の増加と共に,Cu-Ti系は単調に減少した正の歪速度感受性(SRS, m)を示すように見え,一方Cu-Mo系はほぼ一定の負のSRSを明らかにした。Cu-TiとCu-Mo間のSRS mにおける本質的な違いは,溶質原子クラスタ間の相互作用と交差コア拡散機構に基づく転位の観点から理論的に説明した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 硬度 ,  結晶粒 ,  *チタン ,  *銅合金 ,  粒径 ,  *ナノ結晶 ,  *薄膜 ,  濃度依存性 ,  *銅 ,  *微細構造 ,  相互作用 ,  *モリブデン ,  *機械的性質 ,  *合金化 ,  溶質

著者キーワード (5件)： ナノ結晶Cu薄膜 ,  機械的性質 ,  合金化 ,  粒界偏析 ,  転位

分類 (2件)： 変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (11件)： ナノ結晶 ,  Cuベース合金 ,  薄膜 ,  微細構造 ,  機械的性質 ,  合金化 ,  相溶性 ,  Cu ,  Ti ,  非混和性 ,  Mo