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J-GLOBAL ID：201702213503525824   整理番号：17A0633522

低エネルギーイオンビームスパッタリング時の非晶質アルミナ薄膜上のナノリップルの生成 実験とシミュレーション

Formation of nanoripples on amorphous alumina thin films during low-energy ion-beam sputtering: Experiments and simulations

著者 (3件)： BABONNEAU D. (Univ. Poitiers, Futuroscope Chasseneuil, FRA) ,  VANDENHECKE E. (Univ. Poitiers, Futuroscope Chasseneuil, FRA) ,  CAMELIO S. (Univ. Poitiers, Futuroscope Chasseneuil, FRA)
資料名： Physical Review. B  (Physical Review. B)
巻： 95  号： 8  ページ： 085412.1-085412.16  発行年： 2017年02月 
JST資料番号： D0746A  ISSN： 2469-9950  CODEN： PRBMDO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *イオンビームスパッタリング ,  *非晶質 ,  *アルミナ ,  *薄膜 ,  *ナノ構造 ,  *パターン形成 ,  キセノン ,  原子間力顕微鏡 ,  小角X線散乱 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  入射角 ,  角度依存性 ,  温度依存性 ,  エネルギー ,  エネルギー依存性 ,  依存性 ,  フルエンス ,  理論 ,  曲率 ,  粘性流
準シソーラス用語： イオンエネルギー ,  すれすれ入射小角X線散乱 ,  *ナノパターン形成 ,  *ナノリップル ,  フルエンス依存性 ,  表面モルフォロジー ,  連続体理論

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 低エネルギー ,  イオンビームスパッタリング ,  非晶質 ,  アルミナ薄膜 ,  ナノリップル ,  実験 ,  シミュレーション