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J-GLOBAL ID：201702213510980355   整理番号：17A0561548

Arイオン銃による表面エッチングを活用したEBSD測定の改善事例

著者 (2件)： 鈴木啓太 (北大 工学系技セ) ,  遠堂敬史 (北大 工学系技セ)
資料名： 東京大学総合技術研究会予稿集 平成29年度(CD-ROM)  (東京大学総合技術研究会予稿集 平成29年度(CD-ROM))
ページ： ROMBUNNO.O08-06  発行年： 2017年 
JST資料番号： N20170434  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *アルゴン ,  *電子回折 ,  後方散乱 ,  *イオンエッチング ,  *表面加工 ,  Auger分光法 ,  *測定精度 ,  *微結晶 ,  結晶方位 ,  集束イオンビーム
準シソーラス用語： *EBSD

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： Arイオン ,  銃 ,  エッチング ,  活用 ,  EBSD