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J-GLOBAL ID：201702213819871531   整理番号：17A1563324

SiO_2,TiO_2,SiO_2~-TiO_2複合膜で作製した石英表面音響波センサのNH_3センシング特性と機構【Powered by NICT】

NH₃ sensing property and mechanisms of quartz surface acoustic wave sensors deposited with SiO₂, TiO₂, and SiO₂-TiO₂ composite films

著者 (7件)： Tang Yongliang (Institute of Fundamental and Frontier Sciences, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, P.R. China) ,  Ao Dongyi (School of Physical Electronics, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu, 610054, People’s Republic of China) ,  Li Wei (School of Physical Electronics, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu, 610054, People’s Republic of China) ,  Zu Xiaotao (Institute of Fundamental and Frontier Sciences, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, P.R. China) ,  Zu Xiaotao (School of Physical Electronics, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu, 610054, People’s Republic of China) ,  Li Sean (School of Materials Science & Engineering, UNSW SYDNEY, NSW 2052, Australia) ,  Fu Yong Qing (Mathematics Physics and Electrical Engineering, Northumbria University, Newcastle upon Tyne, NE1 8ST, UK)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 254  ページ： 1165-1173  発行年： 2018年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 200nm厚の純粋SiO_2,TiO_2と複合SiO_2~-TiO_2膜をゾル-ゲル法とスピンコーティング法による石英音響波(SAW)センサの表面に被覆した。NH_3センシングのためのそれらの性能と機構を系統的に調べた。TiO_2とSiO_2~-TiO_2膜で作製したセンサは正の周波数シフトを示したが,SiO_2膜はNH_3ガスへの負の周波数シフトを示した。それは負の周波数シフトは主に感応膜に及ぼすNH_3質量負荷の増加によって引き起こされた正周波数シフトは,膜が剛性と軽量化膜上のヒドロキシル基( OH)の縮合に関連していたと信じられている,NH_3ガスに曝露した。湿度はセンシング性能に及ぼす重要な因子を果たしていることを示した。比較研究は,複合SiO_2~-TiO_2膜に基づくセンサは2kHzの応答と低濃度レベル(1ppm)でNH_3にはるかに優れた感度を有し,また高速応答と回復,優れた選択性,安定性および再現性を示したことを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *弾性表面波 ,  *音波 ,  軽量化 ,  *センサ ,  周波数シフト ,  *複合膜 ,  縮合反応 ,  ゾル-ゲル法 ,  再現性 ,  *石英 ,  湿度 ,  スピンコーティング ,  剛性
準シソーラス用語： 高速応答 ,  感応膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： SAWセンサ ,  ヒドロキシル基 ,  質量負荷 ,  弾性係数

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 複合膜 ,  作製 ,  石英 ,  表面音響波 ,  センシング