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J-GLOBAL ID：201702213876804863   整理番号：17A1489572

CVDホモエピタキシャルダイヤモンド板に含まれる貫通転位束の微細構造【Powered by NICT】

Microstructures of threading dislocation bundles included in CVD homoepitaxial diamond plates

著者 (2件)： Tsubouchi Nobuteru (Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan) ,  Mokuno Yoshiaki (Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 78  ページ： 44-48  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (001)-配向した化学蒸着(CVD)ホモエピタキシャルダイヤモンド膜は近-[001]成長方向に平行な成長貫通転位束を含むことが知られている;がそれらの詳細な微細構造はまだ十分に解明されていない。本論文では,このような転位束の微細構造形態,エッチピット法と断面透過型電子顕微鏡(TEM)の併用によって研究を報告した。TEM画像は,転位束からなる貫通転位は拡張しないことを明らかにしたが,完全なタイプとその線は徐々に発散を持つ[001]膜成長方向に沿ってほぼ伝搬した。転位のBurgersベクトルは次の三種類:b=1/2[±110]に分類され,[001]のライン方向にほぼ垂直であった。b=1/2[±101]あるいは1/2[0±11],横方向成分を含むいくつかb=1/2[±110],1/2[±101]と1/2[0±11]の線形結合と。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 化学蒸着 ,  薄膜成長 ,  Burgersベクトル ,  *貫通転位 ,  エッチピット ,  *微細構造 ,  画像
準シソーラス用語： 線形結合 ,  ダイヤモンド膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： CVD ,  ホモエピタキシャルダイヤモンド ,  転位束 ,  Burgersベクトル ,  TEM

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (4件)： CVD ,  貫通転位 ,  束 ,  微細構造