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J-GLOBAL ID:201702213906801665   整理番号:17A0194259

光技術で“くるま”は変わる!LCOS技術を用いた有機半導体三次元加工技術

著者 (1件):
資料名:
号: 422  ページ: 81-85  発行年: 2017年02月10日 
JST資料番号: Y0019A  ISSN: 0286-9659  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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本稿では,LCOS(Liquid Crystal On Silicon)型空間位相変調器とMW級出力のマイクロチップレーザーを用いた有機半導体材料に対するワンショット方式のレーザー加工装置を取りあげ,これまでのレーザー加工技術と比較しながら(スキャン方式のレーザー加工装置,代表的なレーザー加工用画像投影素子であるTFTやDLPにも触れながら),本レーザー加工装置の基本的な構成や動作,主な仕様,機能・特徴,性能評価試験の結果,期待される応用事例,今後の展望などについて説明した。
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分類 (2件):
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固体レーザ  ,  固体デバイス材料 
タイトルに関連する用語 (2件):
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