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J-GLOBAL ID：201702213919398935   整理番号：17A1457605

広いスペクトル範囲での光学薄膜の特性化のための普遍的分散モデル:ふっ化マグネシウムへの応用【Powered by NICT】

Universal dispersion model for characterization of optical thin films over wide spectral range: Application to magnesium fluoride

著者 (5件)： Franta Daniel (Department of Physical Electronic, Faculty of Science, Masaryk University, Kotlarska 2, 61137 Brno, Czech Republic) ,  Necas David (CEITEC - Central European Institute of Technology, Masaryk University, Brno, Czech Republic) ,  Giglia Angelo (IOM-CNR, s.s. 14, Km. 163.5 in AREA Science Park, 34149 Basovizza, Trieste, Italy) ,  Franta Pavel (Department of Physical Electronic, Faculty of Science, Masaryk University, Kotlarska 2, 61137 Brno, Czech Republic) ,  Ohlidal Ivan (Department of Physical Electronic, Faculty of Science, Masaryk University, Kotlarska 2, 61137 Brno, Czech Republic)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 421  号： PB  ページ： 424-429  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ふっ化マグネシウム薄膜の光学特性は遠赤外から普遍的分散モデルを利用した極端紫外(0.01 45eV)までの広いスペクトル範囲で行った。二膜欠陥,すなわち下部境界での上部境界と欠陥遷移層のランダム粗さを考慮に入れた。Gaussと切断されたLorentz項の線形結合として励起子寄与を発現するから成る普遍的分散モデルの拡張を紹介した。光学定数のスペクトル依存性をグラフ形式でとnewAD2ソフトウェアパッケージにおける単効用を用いて必要な範囲とステップと表化された光学定数を生成可能にする分散パラメータの完全なセットで示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *キャラクタリゼーション ,  光学定数 ,  光学的性質 ,  *フッ化マグネシウム ,  遠赤外線 ,  *スペクトル ,  プログラムパッケージ ,  極端紫外線 ,  励起子 ,  *薄膜
準シソーラス用語： スペクトル依存性 ,  線形結合 ,  遷移層 ,  *分散モデル ,  *光学薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 光学定数 ,  Ellipsometry ,  Spectrophotometry ,  総和則

分類 (1件)： 光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (6件)： スペクトル ,  光学薄膜 ,  特性化 ,  分散モデル ,  ふっ化マグネシウム ,  応用