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J-GLOBAL ID：201702214279612011   整理番号：17A1815129

面外熱駆動Auナノグレーティングを用いたマイクロ光学位相子の透過率変調

Transmission Modulation of Micro Retarder Using Out-of-Plane Thermally-Driven Au Nanograting

著者 (3件)： 志村崇 (東京農工大学) ,  岩見健太郎 (東京農工大学) ,  梅田倫弘 (東京農工大学)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 137  号： 11  ページ： 400-406(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文では,AuとSiO₂の2層からなる両持ち梁のバイモルフアクチュエータを集積化し,面外駆動させることで,Auナノグレーティング位相子の透過率を変調する手法を提案した。本手法の透過率ピークの概算手法として,フレネル反射とFabry-Perot干渉理論を適用することで,エアギャップの動的制御による透過率変調の実現可能性を示した。また,作製した素子により,Auナノグレーティングの位相差を維持しながら透過率のみ変調することが可能であることを確認した。

シソーラス用語： *光学素子 ,  *位相 ,  *表面 ,  人工材料 ,  *金 ,  *ナノ構造 ,  *回折格子 ,  *表面プラズモン ,  *MEMS ,  *アクチュエータ ,  *圧電素子 ,  積層構造 ,  技術 ,  伝搬定数 ,  *透過率 ,  *半導体プロセス ,  微細構造 ,  複屈折 ,  光学顕微鏡法 ,  位相測定 ,  偏光子
準シソーラス用語： *位相子 ,  光学リターダ ,  *メタ表面 ,  *ナノグレーティング ,  *バイモルフ ,  圧電バイモルフ ,  光学位相差 ,  偏光顕微鏡法

著者キーワード (12件)： 位相子 ,  メタサーフェス ,  ナノグレーティング ,  表面プラズモン ,  MEMS ,  バイモルフアクチュエータ ,  retarder ,  metasurface ,  nanograting ,  Surface plasmon ,  MEMS ,  bimorph actuator

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (17件)：

• (1) S.-Y. Hsu, K.-L. Lee, E.-H. Lin, M.-C. Lee, and P.-K. Wei : “Giant birefringence induced by plasmonic nanoslit arrays”, Appl. Phys. Lett., Vol. 95, 013105 (2009)
• (2) K. Iwami, M. Ishii, Y. Kuramochi, K. Ida, and N. Umeda : “Ultrasmall radial polarizer array based on patterned plasmonic nanoslits”, Appl. Phys. Lett., Vol. 101, 161119 (2012)
• (3) M. Ishii, K. Iwami, and N. Umeda : “An Au nanofin array for high efficiency plasmonic optical retarders at visible wavelengths”, Appl. Phys. Lett., Vol. 106, 021115 (2015)
• (4) M. Ishii, K. Iwami, and N. Umeda : “Highly-efficient and angle-independent zero-order half waveplate at broad visible wavelength based on Au nanofin array embedded in dielectric”, Opt. Express, Vol. 24, No. 8, pp. 7966-7976 (2016)
• (5) H. Honma, K. Takahashi, M. Ishida, and K. Sawada : “A Low-Voltage and High Uniformity Nano-Electro-Mechanical System Tunable Color Filter Based on Subwavelength Grating”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 51, 11PA01 (2012)

タイトルに関連する用語 (7件)： 熱駆動 ,  Au ,  グレーティング ,  光学 ,  位相 ,  透過率 ,  変調