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J-GLOBAL ID：201702215016896694   整理番号：17A0330285

TiSiN/Ag多層膜の機械的特性とトライボロジー特性に及ぼす多界面構造の影響

Influence of multi-interfacial structure on mechanical and tribological properties of TiSiN/Ag multilayer coatings

著者 (7件)： DANG Chaoqun (Ningbo Inst. of Materials Technol. and Engineering, Chinese Acad. of Sci., Ningbo, CHN) ,  DANG Chaoqun (Shanghai Univ., Shanghai, CHN) ,  LI Jinlong (Ningbo Inst. of Materials Technol. and Engineering, Chinese Acad. of Sci., Ningbo, CHN) ,  WANG Yue (Ningbo Inst. of Materials Technol. and Engineering, Chinese Acad. of Sci., Ningbo, CHN) ,  YANG Yitao (Shanghai Univ., Shanghai, CHN) ,  WANG Yongxin (Ningbo Inst. of Materials Technol. and Engineering, Chinese Acad. of Sci., Ningbo, CHN) ,  CHEN Jianmin (Ningbo Inst. of Materials Technol. and Engineering, Chinese Acad. of Sci., Ningbo, CHN)
資料名： Journal of Materials Science  (Journal of Materials Science)
巻： 52  号： 5  ページ： 2511-2523  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： B0722A  ISSN： 0022-2461  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： チタン合金の摩擦特性向上を目的としてTi6Al4V合金基板上にTiSiN/Ag多層膜をマルチアークイオンプレーティングにより被覆した。被膜はTiNバッファ層と多界面TiSiN/Ag層で構成した。TiSiNAg多層はTiSiN層とAg層を厚さ比5で交互に,2層の繰り返し周期を50-410nm間で変えた。TiSiN層はアモルファスSi₃N₄中に分散したナノ結晶TiNから成る微細構造で,Ag層は延性ナノ結晶金属銀であった。TiNの粒径は2層構造のため円柱状結晶成長が阻害され,2層周期減少に伴い減少した。硬度(H),H/E(弾性率)は2層周期減少に伴い増加した。2層周期が50nmのTiSiN/Ag多層膜は微細粒径,高硬度,H/Eと銀潤滑を含む転写膜による優れた耐摩耗性を発揮した。多界面構造は潤滑剤として効果的に作用し,亀裂伝播を妨げ,海水による腐食を防止し,摩擦係数と摩耗率を減少させた。

シソーラス用語： Ti-6Al-4V合金 ,  *多層膜 ,  複合膜 ,  表面構造 ,  トライボロジー ,  *チタン化合物 ,  イオンめっき ,  バッファ層 ,  *銀 ,  被覆 ,  非晶質 ,  ナノ結晶 ,  微細構造 ,  粒径 ,  柱状晶 ,  硬度 ,  弾性係数 ,  潤滑 ,  耐摩耗性 ,  亀裂伝搬 ,  海水腐食 ,  摩擦係数 ,  摩耗率 ,  *窒化ケイ素
準シソーラス用語： アークイオンプレーティング ,  界面構造 ,  固体膜潤滑 ,  交互多層膜 ,  窒化チタン

分類 (2件)： 機械的性質  (WB02030U) ,  気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (5件)： Ag ,  多層膜 ,  機械的特性 ,  トライボロジー特性 ,  界面構造