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J-GLOBAL ID：201702215055459673   整理番号：17A0309991

レーザ化学蒸着によるPt被覆MgO(110)単結晶基板上に作製したBaTi_2O_5厚膜の誘電特性【Powered by NICT】

Dielectric properties of BaTi₂O₅ thick films prepared on Pt-coated MgO(110) single-crystal substrate by laser chemical vapor deposition

著者 (9件)： Guo Dongyun (Department of Mechanical Science and Engineering, Nagoya University, Nagoya 464-8603, Japan) ,  Ju Yang (Department of Mechanical Science and Engineering, Nagoya University, Nagoya 464-8603, Japan) ,  Ito Akihiko (Institute for Materials Research, Tohoku University, Sendai 980-8577, Japan) ,  Goto Takashi (Institute for Materials Research, Tohoku University, Sendai 980-8577, Japan) ,  Wang Chuanbin (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China) ,  Shen Qiang (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China) ,  Tu Rong (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China) ,  Huang Zhixiong (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China) ,  Zhang Lianmeng (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 42  号： 9  ページ： 11464-11467  発行年： 2016年07月 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： BaTi_2O_5(BT_2)膜をレーザ化学蒸着によりPt被覆MgO(110)単結晶基板上に堆積した。単相BT_2厚膜を高蒸着速度で堆積した。BT_2厚膜は柱状断面を持つ細長い粒子から成っていた。堆積温度(T)の増加に伴い,BT_2厚膜の方位は(112)から(511)に変化し,粒径は増加した。T科=956Kで蒸着した(112)配向BT_2厚膜は,67の誘電定数(ε′)と誘電損失(tanδ)0.015を有し,T科=964Kで蒸着した(511)配向BT_2厚膜は300Kと1MHzで0.019の74とtanδのε′を有していた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *厚膜 ,  粒径 ,  被覆 ,  *誘電性 ,  誘電率 ,  *酸化マグネシウム ,  単相 ,  誘電損失 ,  *単結晶 ,  *白金 ,  損失正接 ,  蒸着速度

著者キーワード (5件)： BaTi_2O_5厚膜 ,  レーザCVD ,  レーザパワー ,  Orientation ,  Morphology

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザ化学蒸着 ,  Pt ,  MgO ,  単結晶基板 ,  作製 ,  厚膜 ,  誘電特性