抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ナガセテクノエンジニアリング(株)ではWebやBachのインライン高速表面欠陥検査装置として,Scantecシリーズを開発している。本論文では,透過検査,表面反射検査,裏面反射検査でのシステム構成例を紹介した。適用実績としては,1)FPD(Flat Pannel Display)用の光学フィルムや包装用の汎用フィルムの検査,2)Li-ion電極,セパレータ,EVA(Ethylene-Vinyl Acetate),PV(Photovoltaic)パッケージ,バリアフィルム,生分解性フィルムの検査,3)紙・不織布のムラ,薄い汚れ,スジの検出,4)ガラス基板の異物,気泡,キズの検出,5)自動車用鋼板,FCCL(Flexible Cupper Clad Laminate)用銅箔,リードフレーム材,電解銅箔,アルミ材などの付着異物,錆,リング状汚れ,凹凸,ピンホールの検出,6)OPC(Organic Photoconductor)ドラム,アルミ素管,各種ゴムローラーの検査が挙げられる。また,カラー入力された画像をリアルタイムに処理するScantecカラーではハードウェアによるノイズ処理,フィルタ処理,照度補正,4値化に基づく色による異物・欠陥検出を可能にした。本システムではYUV形式の色空間で画像を管理し,その色座標でのターゲットの色の指示が行える利点を論じた。