文献

J-GLOBAL ID：201702215297553792   整理番号：17A1328082

3C-SiC薄膜の破断強さをマイクロカンチレバービーム曲げ法により測定した。【JST・京大機械翻訳】

Measurement of Fracture Strength of Thin 3C-SiC Films by Bending Test of Micro-Cantilevers

著者 (3件)： Lu (国防科学技術大学机電工程与自動化学院,長沙,410073) ,  Dong Peitao (国防科学技術大学机電工程与自動化学院,長沙,410073) ,  Wu Xuezhong (国防科学技術大学机電工程与自動化学院,長沙,410073)
資料名： Nami Jishu Yujingmi Gongcheng  (Nami Jishu Yujingmi Gongcheng)
巻： 15  号： 2  ページ： 87-92  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2959A  ISSN： 1672-6030  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 厳しい環境におけるMEMSの高強度材料に対する要求に対して、化学蒸着(CVD)により3C-SiC薄膜をエピタキシャル成長させた。3C-SiCマイクロカンチレバービームの曲げ実験を,マイクロマシニングシステムを用いて行った。厚板構造の有限要素シミュレーションとWeibull統計を用いて、3C-SiC薄膜の断裂強度を得た。結果は以下を示した。種々のサイズの3C-SiCマイクロサスペンションの特性強度は,1552.15MPa,2654.56MPa,2598.39MPa,2911.64MPaであった。ワイブル係数は,それぞれ9.547,11.541,18.909,20.733であった。破壊強度は,マイクロカンチレバービーム幅の増加とともに減少し,ワイブル係数は,減少した,そして,解析は,以下のことを示した。構造寸法が大きいほど、微小片持梁は、含まれる生長欠陥(例えば、穴、亀裂など)が多いほど、その断裂強度が低くなる。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *破断強さ ,  亀裂 ,  厚板 ,  破壊強さ ,  MEMS ,  *薄膜 ,  断裂 ,  化学蒸着
準シソーラス用語： ビーム幅 ,  *マイクロカンチレバー ,  Weibull係数 ,  有限要素シミュレーション ,  高強度 ,  *3C-SiC , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 3C-SiC films ,  micro-cantilever ,  bending test ,  Weibull statistics ,  fracture strength

分類 (5件)： 腐食基礎理論,腐食試験  (WB03020Q) ,  高圧技術  (BA02030W) ,  精密機械一般  (QF01000M) ,  疲れ一般  (HC05010H) ,  その他の材料  (HC05050Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： 薄膜 ,  破断強さ ,  マイクロカンチレバー ,  ビーム ,  曲げ法