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J-GLOBAL ID：201702215875095737   整理番号：17A0368576

狭い感度分布を有するMEMSマイクロホン【Powered by NICT】

MEMS microphones with narrow sensitivity distribution

著者 (6件)： Walser S. (Munich University of Applied Sciences, Munich, Germany) ,  Siegel C. (EPCOS AG a TDK group company, Munich, Germany) ,  Winter M. (EPCOS AG a TDK group company, Munich, Germany) ,  Feiertag G. (Munich University of Applied Sciences, Munich, Germany) ,  Loibl M. (Munich University of Applied Sciences, Munich, Germany) ,  Leidl A. (EPCOS AG a TDK group company, Munich, Germany)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 247  ページ： 663-670  発行年： 2016年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 作製プロセス後のMEMSマイクロホンを較正するための方法を提案した。これは容量膜バックプレートシステムの補償プロセス許容度とパッケージング応力を可能にした。可変バイアス電圧と可変利得のプログラマブルMEMSマイクロホンを開発し,作製した。このマイクロホンの感度は11dBの範囲内で調整することができる。調整を用いて,特定の値に対する感度を削減し,感度の変動を低減した。大量生産では±1dBの厳密な感度が達成され, 38dBV/Pa@1kHzの特定の感度であった。さらにマイクロホン信号対雑音比は高バイアス電圧を選択し,マッチング利得キャリブレーションによる66dB(A)以上の値に増加した。バイアス供給電圧の間の関係と二重バックプレートセンサの非線形動力学について解説した。感度,雑音,SN比,THDと周波数応答に及ぼすプログラミングの影響を調べた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 雑音 ,  利得 ,  バイアス ,  *マイクロホン ,  周波数応答 ,  大量生産 ,  許容量 ,  計算機プログラミング ,  SN比 ,  非線形力学 ,  マッチング ,  *MEMS
準シソーラス用語： 供給電圧 ,  バイアス電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： MEMS ,  マイクロホン ,  OTP ,  プログラミング ,  高SN比 ,  Sensitivity ,  配電

分類 (1件)： オーディオ機器  (NC06010U)

タイトルに関連する用語 (4件)： 感度 ,  分布 ,  MEMS ,  マイクロホン