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J-GLOBAL ID：201702216031401205   整理番号：17A0578341

6H-SiCのナノインデンテーションにおける表面形態と機械的性質応答についてのシミュレーションと実験

Simulation and Experiment on Surface Morphology and Mechanical Properties Response in Nano-Indentation of 6H-SiC

著者 (4件)： LI Chen (Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN) ,  ZHANG Feihu (Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN) ,  MENG Binbin (Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN) ,  MA Zhaokai (Harbin Inst. of Technol., Harbin, CHN)
資料名： Journal of Materials Engineering and Performance  (Journal of Materials Engineering and Performance)
巻： 26  号： 3  ページ： 1000-1009  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： C0161B  ISSN： 1059-9495  CODEN： JMEPEG  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SiCの単結晶はSiに比べて多くの利点を有するため,第三世代半導体材料として徐々に使われ始めた。しかしながら,SiCの非常に高い硬度は機械加工を著しく困難なものとしており,幅広い利用を阻害している。本研究においては,この加工技術の開発に資するために,SiC単結晶の物性評価をナノインデンテーション(NI)技術を用いて行なった。また,シミュレーションを用いてインデンテーション挙動を解析した。実験では,6H-SiC単結晶を用いその(0001)面でのNIを行ない,その表面を走査電子顕微鏡を用いて観察した。この実験および解析から,SiCの歪み硬化および破壊挙動を明らかにすることができ,圧子先端が劈開面に沿う時,容易に亀裂が進展することも見出した。

シソーラス用語： *炭化ケイ素 ,  単結晶 ,  *ナノインデンテーション ,  加工硬化 ,  亀裂伝搬 ,  計算機シミュレーション ,  結晶面
準シソーラス用語： *6H-SiC ,  劈開面

分類 (1件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (7件)： 6H-SiC ,  ナノインデンテーション ,  表面形態 ,  機械的性質 ,  応答 ,  シミュレーション ,  実験