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J-GLOBAL ID：201702216123999889   整理番号：17A1399161

イオンビーム作製集積光学素子の最近の進歩【Powered by NICT】

Recent progress in ion beam fabrication of integrated optical elements
著者 (8件)：
Banyasz I.

Banyasz I. について

(Wigner Research Centre for Physics, Hungarian Academy of Sciences, P.O.B. 49, H-1525, Budapest, Hungary)

Wigner Research Centre for Physics, Hungarian Academy of Sciences, P.O.B. 49, H-1525, Budapest, Hungary について

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Nagy G.U.L.

Nagy G.U.L. について

(MTA Atomki, Institute for Nuclear Research, Hungarian Academy of Sciences, H-4001 Debrecen, P.O. Box 51, Hungary)

MTA Atomki, Institute for Nuclear Research, Hungarian Academy of Sciences, H-4001 Debrecen, P.O. Box 51, Hungary について

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Havranek V.

Havranek V. について

(Nuclear Physics Institute AV CR, Rez∨ near Prague, 250 68, Czech Republic)

Nuclear Physics Institute AV CR, Rez∨ near Prague, 250 68, Czech Republic について

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Vosecek V.

Vosecek V. について

(Nuclear Physics Institute AV CR, Rez∨ near Prague, 250 68, Czech Republic)

Nuclear Physics Institute AV CR, Rez∨ near Prague, 250 68, Czech Republic について

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Agocs E.

Agocs E. について

(Research Institute for Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Budapest, P.O.B. 49, H-1525 Hungary)

Research Institute for Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Budapest, P.O.B. 49, H-1525 Hungary について

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Fried M.

Fried M. について

(Research Institute for Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Budapest, P.O.B. 49, H-1525 Hungary)

Research Institute for Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Budapest, P.O.B. 49, H-1525 Hungary について

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Rakovics V.

Rakovics V. について

(Research Institute for Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Budapest, P.O.B. 49, H-1525 Hungary)

Research Institute for Technical Physics and Materials Science, Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences, Budapest, P.O.B. 49, H-1525 Hungary について

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Pelli S.

Pelli S. について

(MDF-Lab, “Nello Carrara” Institute of Applied Physics, IFAC-CNR, Via Madonna del Piano 10, 50019 Sesto Fiorentino (FI), Italy)

MDF-Lab, “Nello Carrara” Institute of Applied Physics, IFAC-CNR, Via Madonna del Piano 10, 50019 Sesto Fiorentino (FI), Italy について


資料名：
IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)

IEEE Conference Proceedings について


巻： 2017  号： ICTON  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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中間エネルギーイオン注入による種々の光学結晶で設計し,記述した平面光導波路とBragg格子。作製した集積光学素子のいくつかの例を本論文で提示した800keV~ 3.5MeVエネルギー範囲でN~+イオンをシリコン基板に5MeV N~3+イオン照射,および多重エネルギー注入によって作製したBragg格子によるEr:LiNbO_3結晶で製作した平面光導波路。SRIMコードは光学素子を計画するために使用した。イオン注入した光学素子を分光偏光解析法と可視と赤外反射率測定により試験した。結果は,提案した製作法は,適切なパラメータの集積光学素子を作ることができることを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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イオン注入

イオン注入 について

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*光学素子

光学素子 について

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イオン照射

イオン照射 について

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*イオンビーム

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多重化

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結晶

結晶 について


準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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赤外反射

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分光偏光解析法

分光偏光解析法 について

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シリコンウエハ

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Bragg格子

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平面光導波路

平面光導波路 について

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光学結晶

光学結晶 について

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*集積光学素子

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分類 (1件)：
分類
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光導波路,光ファイバ,繊維光学 
(BD06030H)

光導波路,光ファイバ,繊維光学 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
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イオンビーム

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作製

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集積光学素子

集積光学素子 について


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