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J-GLOBAL ID：201702217558517709   整理番号：17A2006263

全金属酸化物装置のためのCo_3O_4薄膜の反応性スパッタリング成長:半透明と自己出力紫外光検出器【Powered by NICT】

Reactive sputtering growth of Co₃O₄ thin films for all metal oxide device: a semitransparent and self-powered ultraviolet photodetector

著者 (11件)： Patel Malkeshkumar (Department of Electrical Engineering, Incheon National University, 119 Academy Rd. Yeonsu, Incheon, 22012, Republic of Korea) ,  Patel Malkeshkumar (Photoelectric and Energy Device Application Lab (PEDAL), Multidisciplinary Core Institute for Future Energies (MCIFE), Incheon National University, 119 Academy Rd. Yeonsu, Incheon, 22012, Republic of Korea) ,  Kumar Mohit (Department of Electrical Engineering, Incheon National University, 119 Academy Rd. Yeonsu, Incheon, 22012, Republic of Korea) ,  Kumar Mohit (Photoelectric and Energy Device Application Lab (PEDAL), Multidisciplinary Core Institute for Future Energies (MCIFE), Incheon National University, 119 Academy Rd. Yeonsu, Incheon, 22012, Republic of Korea) ,  Kim Hong-Sik (Department of Electrical Engineering, Incheon National University, 119 Academy Rd. Yeonsu, Incheon, 22012, Republic of Korea) ,  Kim Hong-Sik (Photoelectric and Energy Device Application Lab (PEDAL), Multidisciplinary Core Institute for Future Energies (MCIFE), Incheon National University, 119 Academy Rd. Yeonsu, Incheon, 22012, Republic of Korea) ,  Park Wang-Hee (Department of Electrical Engineering, Incheon National University, 119 Academy Rd. Yeonsu, Incheon, 22012, Republic of Korea) ,  Park Wang-Hee (Photoelectric and Energy Device Application Lab (PEDAL), Multidisciplinary Core Institute for Future Energies (MCIFE), Incheon National University, 119 Academy Rd. Yeonsu, Incheon, 22012, Republic of Korea) ,  Choi Eun Ha (Plasma Bioscience Research Center, Kwangwoon University, Seoul, 01897, Republic of Korea) ,  Kim Joondong (Department of Electrical Engineering, Incheon National University, 119 Academy Rd. Yeonsu, Incheon, 22012, Republic of Korea) ,  Kim Joondong (Photoelectric and Energy Device Application Lab (PEDAL), Multidisciplinary Core Institute for Future Energies (MCIFE), Incheon National University, 119 Academy Rd. Yeonsu, Incheon, 22012, Republic of Korea)
資料名： Materials Science in Semiconductor Processing  (Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 74  ページ： 74-79  発行年： 2018年 
JST資料番号： W1055A  ISSN： 1369-8001  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Co_3O_4薄膜上の光検出器ベース全酸化物は大面積反応性スパッタリング法を用いて最適化し,作製した。特に,Co_3O_4薄膜の光学的測定は二重バンドギャップ(E_g1~1.5eVとE_g2~2eV)の存在を示し,広いスペクトル範囲(300 1300nm)で70%の平均透過率である半透明全金属酸化物光電素子を実現するために有用である。Co_3O_4/ZnO/ITO構造を持つCo_3O_4ベース半透明,高性能,自己バイアス,紫外手術した光検出器。に加え,正孔輸送体としてMoO_3による上塗りCo_3O_4デバイスは選択的接触の利点を示す,高速UV検出(33 ms)を有する光応答の改善三倍となった。本研究は,費用対効果に優れた,半透明,かつ効率的なコバルト酸化物ベース光検出器と同様に太陽電池を設計するための道を開くであろう。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： バンドギャップ ,  *反応性スパッタリング ,  スペクトル ,  *薄膜 ,  *光検出器 ,  *検出器 ,  *紫外線 ,  最適化 ,  透過率 ,  光学的測定 ,  *酸化物 ,  高速度 ,  太陽電池 ,  酸化コバルト
準シソーラス用語： *半透明 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  測光と光検出器一般  (BD07031F)

タイトルに関連する用語 (8件)： 金属酸化物 ,  薄膜 ,  反応性スパッタリング ,  成長 ,  半透明 ,  自己 ,  紫外光 ,  検出器