インジウム-ガリウム-亜鉛酸化物表面の触媒印刷での無電解メッキしたNiパターン

ONOUE Miki; OGURA Shintaro; KUSAKA Yasuyuki; FUKUDA Nobuko; YAMAMOTO Noritaka; KOJIMA Keisuke; CHIKAMA Katsumi; USHIJIMA Hirobumi

文献

J-GLOBAL ID：201702217742737579 整理番号：17A1003329

インジウム-ガリウム-亜鉛酸化物表面の触媒印刷での無電解メッキしたNiパターン

Electroless-plated Ni pattern with catalyst printing on indium-gallium-zinc oxide surface

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資料名：
巻： 56 号： 5S2 ページ： 05EB07.1-05EB07.5 発行年： 2017年05月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

無電解めっきNi金属が電子素子の製造において配線と電極のために使用された。めっきパターンを得るために,エッチングとフォトレジストが一般的に使用される。しかし,印刷による触媒パターン形成により,無電解めっきによってエッチングとフォトレジストなしに金属パターンを得た。溶液処理インジウムガリウム亜鉛(IGZO)は高性能と空気中での製作の容易さを示すために著しい関心を集めた。この研究では,IGZO TFTの電極として触媒印刷によって無電解めっきパターンを製作した。IGZO TFTのソースおよびドレイン電極に対する触媒印刷によって製作されためっき金属電極の適用について少数の報告がある。IGZO TFTは典型的な電流-電圧(I-V)曲線を示す。めっき電極は性能劣化のような多くの問題を引き起こした。しかし,筆者らの結果はめっき金属電極がIGZO TFTを駆動できることを示した。さらに,めっきされたNiの断面走査電子顕微鏡やエネルギー分散X線分光法(SEM/EDS)によって触媒層のめっき金属成長を確認した。電極材料の測定された仕事関数(WF)の妥当性やIGZO TFTの性能を検討した。(翻訳著者抄録)

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無電解めっき , 印刷

引用文献 (32件)：

K. Suzuki, K. Yutani, A. Onodera, T. Tano, H. Tomono, A. Murakami, M. Yanagisawa, K. Kameyama, and I. Kawashima, Proc. Int. Display Workshops, 2008, p. 1477.
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