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J-GLOBAL ID：201702217861144047   整理番号：17A1704431

高結晶性と表面不動態化シリコンナノ粒子の水素誘起火花放電発生【Powered by NICT】

Hydrogen-assisted spark discharge generation of highly crystalline and surface-passivated silicon nanoparticles

著者 (8件)： Lee Dongjoon (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Seoul National University, Seoul 08826, Republic of Korea) ,  Lee Dongjoon (Global Frontier Center for Multiscale Energy Systems, Seoul National University, Seoul 08826, Republic of Korea) ,  Lee Kiwoong (Global Frontier Center for Multiscale Energy Systems, Seoul National University, Seoul 08826, Republic of Korea) ,  Kim Dae Seong (Global Frontier Center for Multiscale Energy Systems, Seoul National University, Seoul 08826, Republic of Korea) ,  Lee Jong-Kwon (Department of Nanostructure Technology, National Nanofab Center, Daejeon 34141, Republic of Korea) ,  Park Sei Jin (Global Frontier Center for Multiscale Energy Systems, Seoul National University, Seoul 08826, Republic of Korea) ,  Choi Mansoo (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Seoul National University, Seoul 08826, Republic of Korea) ,  Choi Mansoo (Global Frontier Center for Multiscale Energy Systems, Seoul National University, Seoul 08826, Republic of Korea)
資料名： Journal of Aerosol Science  (Journal of Aerosol Science)
巻： 114  ページ： 139-145  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0776A  ISSN： 0021-8502  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 規定された表面化学を有する高純度と結晶性ナノ粒子を生成する能力は非常に重要であるこれらの特性はナノ粒子を埋込んだ光とナノ電子デバイスの性能を高めるのに重要な役割を果たしている。本研究では,水素雰囲気を導入することによる火花放電発生により製造されるので,シリコンナノ粒子の純度,結晶化度,および表面不動態化を改善しようとした。純アルゴンを搬送ガスとして使用するとき,いくつかの粒子はシステム中に存在する酸素の痕跡量,および酸化物はしばしば非晶質でないものに起因する酸化(酸化ケイ素よりもむしろシリコン)であることを見出し,スパークエネルギーは高結晶性シリコンナノ粒子を生成するには不十分である。水素をチャンバに導入した場合,火花放電領域,酸化物粒子の形成を効果的に減少させる内還元環境を生成する。発生した酸化ケイ素ナノ粒子の一部はより多量の水素が系に導入されると減少した。添加では,火花放電プロセスから生成された水素プラズマは作製したシリコンナノ粒子の結晶性を改善し,Si H_x結合を形成し,酸素含有雰囲気中での処理中のそれらの安定性を増強することによりシリコンナノ粒子表面の不動態化を支援する。このように,提示した方法は高純度と結晶性を持つ水素不動態化シリコンナノ粒子を生成するために用いることができ,これらの粒子はサイズ選択後量子ドットとして利用されるまたはルミネセンスデバイスに組み込むことができることが期待される。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *水素 ,  *火花放電 ,  *ケイ素 ,  酸素 ,  純度 ,  *不動態化 ,  非晶質 ,  量子ドット ,  酸化 ,  *結晶度 ,  *ナノ粒子 ,  酸化ケイ素
準シソーラス用語： 高純度 ,  *シリコンナノ粒子 ,  *表面不動態化 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 火花放電 ,  シリコンナノ結晶 ,  水素

分類 (2件)： エーロゾル  (CB11030Y) ,  粒状物調査測定  (SB03060E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高結晶性 ,  表面不動態化 ,  シリコンナノ粒子 ,  水素 ,  誘起 ,  火花放電