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J-GLOBAL ID:201702218013781033   整理番号:17A1456439

回転と回転型研磨法の除去モデル【Powered by NICT】

Removal model of rotation & revolution type polishing method
著者 (2件):
資料名:
巻: 50  ページ: 515-521  発行年: 2017年 
JST資料番号: A0734B  ISSN: 0141-6359  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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本論文では,そのユニークな加工位置と工具形状による高品質非球面光学・高精度研磨技術の増大する需要を満足する回転と回転研磨(RRP)法を紹介し,論じた。安定研磨工具形状を維持し,最適研磨速度分布をによる表面粗さを均一にできるRRP法は有望な精密研磨法である。実験は種々の条件下でPreston方程式に基づく研磨プロファイルに対する数学モデルの有効性を決定し,証明した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
シソーラス用語:
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分類 (4件):
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特殊加工  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  フライス加工  ,  切削一般 
タイトルに関連する用語 (2件):
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