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J-GLOBAL ID：201702218470217369   整理番号：17A1567673

エーロゾル支援化学蒸着により作製したアンチモンをドープしたアナターゼTiO_2薄膜の電子的性質【Powered by NICT】

Electronic properties of antimony-doped anatase TiO₂ thin films prepared by aerosol assisted chemical vapour deposition

著者 (5件)： Bhachu Davinder S. (Materials Chemistry Centre, Department of Chemistry, University College London, 20 Gordon Street, London WC1H 0AJ, UK. [e-mail]) ,  Egdell Russell G. ,  Sankar Gopinathan ,  Carmalt Claire J. ,  Parkin Ivan P.
資料名： Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices  (Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices)
巻： 5  号： 37  ページ： 9694-9701  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2383A  ISSN： 2050-7526  CODEN： JMCCCX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エアロゾル支援化学蒸着により堆積したアンチモンをドープしたアナターゼ(TiO_2)薄膜の電子特性を種々の分光法により調べた。TiO_2格子へのSb(V)の取込をX線吸収分光法により特性化し,n型伝導率をもたらし,アンドープTiO_2膜のそれと比較して四桁の大きさでシート抵抗の減少であった。最良の電気特性を持つ膜は約1×10~20cm~ 3の電荷キャリア濃度と比抵抗として低い6×10~ 2Ωcmを示した。ドーピングはSb量の増加とともに次第に強くなったことを膜のオレンジ着色をもたらした。X線光電子分光法は,Sb(iii)の実質的な分離膜の表面には主要な零二p価電子帯のトップより上にある孤立電子対表面状態の出現と関連していることを示した。膜の顕著な可視領域吸収は伝導帯への表面と結晶粒界界面でのSb(iii)状態からの遷移に起因した。Sbの偏析は,高いドーピングレベルでp型表面層をもたらし,この新しい導電性酸化物中の移動度を制限している。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *アンチモン ,  移動度 ,  X線吸収分光法 ,  電気特性 ,  *ドーピング ,  X線光電子スペクトル ,  伝導バンド ,  キャラクタリゼーション ,  価電子バンド ,  *アナターゼ ,  結晶粒界 ,  *化学蒸着 ,  電気抵抗率 ,  *薄膜 ,  X線光電子分光法 ,  シート抵抗

分類 (2件)： 塩  (CD01050V) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D)

タイトルに関連する用語 (10件)： エーロゾル ,  支援 ,  化学蒸着 ,  作製 ,  アンチモン ,  ドープ ,  アナターゼ ,  薄膜 ,  電子 ,  性質