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J-GLOBAL ID:201702218566533970   整理番号:17A1248139

成長とアニールしたInSe薄膜の構造,光学,及び誘電特性に及ぼすAu nanosandwichingの影響【Powered by NICT】

Effect of Au nanosandwiching on the structural, optical and dielectric properties of the as grown and annealed InSe thin films
著者 (4件):
資料名:
巻: 520  ページ: 57-64  発行年: 2017年 
JST資料番号: H0676B  ISSN: 0921-4526  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,InSe/Au/InSe nanosandwiched構造の構造的,光学的および誘電的性質をX線回折とUV-可視光吸光分光分析法により調べた。二InSe層20~100nm厚のAu金属スラブの挿入は成長したままのInSe膜の非晶質性を変化させなかったが,エネルギーバンドギャップと自由キャリア密度を減少させた。も増加した吸収率と誘電定数の値~3倍にした。ナノサンドイッチとして100nmのAu層の挿入はInSe膜のドリフト移動度(31.3cm~2/Vs)とプラズモン周波数(1.53GHz)を増強した。一方,アニーリング,InSe/Au(100nm)/InSeサンドイッチで観察された金属誘起結晶化過程。特に,300°Cでアニールしたとき,20nmの厚さの層でサンドイッチされた試料はほとんど六方晶γ-In_2Se_3を明らかにしたが,100nmのAuスラブでサンドイッチされたものは,200°Cのアニーリング温度で六方晶γ-In_2Se_3の結晶相を示した。300°Cでのさらなるアニーリングは斜方晶In_4Se_3相の出現を強制した。光学的に,200°CでInSe/Au(100nm)/InSeの焼なましは吸収比を改善し約9倍とエネルギーバンドギャップを低下させた。InSeのnanosandwiching技術はInSe光起電力材料の光学的性質の工学のための有望であると思われる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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光物性一般  ,  半導体薄膜 

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