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J-GLOBAL ID：201702218653857803   整理番号：17A1736993

電子ビームを用いた誘導相転移による原子的規模の製作

Atom-by-atom fabrication by electron beam via induced phase transformations

著者 (8件)： JIANG Nan (Arizona State Univ., USA) ,  ZARKADOULA Eva (Oak Ridge National Lab., USA) ,  NARANG Prineha (Harvard Univ., USA) ,  MAKSOV Artem (Univ. Tennessee, Knoxville, USA) ,  KRAVCHENKO Ivan (Oak Ridge National Lab., USA) ,  BORISEVICH Albina (Oak Ridge National Lab., USA) ,  JESSE Stephen (Oak Ridge National Lab., USA) ,  KALININ Sergei V. (Oak Ridge National Lab., USA)
資料名： MRS Bulletin  (MRS Bulletin)
巻： 42  号： 9  ページ： 653-659  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： W1595A  ISSN： 0883-7694  CODEN： MRSBEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 量子材料の進展は,原子精度に迫るデバイス製造を推進している。電子ビームと固体との相互作用の詳細な理論的理解は,新技術の基礎を形成するために必要なことである。固体の直接原子ビームパターニングは,製造および観察の同時ステップを伴い,原子スケールの直接製造のための新しい道を開く。ここではビーム-固体相互作用の基本モデルをレビューし,特に量子材料と量子デバイスの分野における原子スケールの製造への高分解能STEMの応用について説明する。

シソーラス用語： *電子ビーム ,  材料 ,  相互作用 ,  *透過型走査電子顕微鏡 ,  *パターン形成 ,  エネルギー移動 ,  チタン酸ストロンチウム ,  *電子-フォノン相互作用
準シソーラス用語： ナノパターニング

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電子ビーム ,  誘導 ,  相転移 ,  原子 ,  規模 ,  製作