文献

J-GLOBAL ID：201702218938937062   整理番号：17A0290150

プラズマフォーカス法によって作製したAlドープZnO薄フィルムの微細構造,表面モルフォロジーおよび光ルミネセンス特性

Microstructure, Surface Morphology and Photoluminescence Properties of Al-Doped ZnO Thin Films Prepared by Plasma Focus Method

著者 (4件)： HOSSEINNEJAD Mohammad Taghi (Islamic Azad Univ., Tehran, IRN) ,  GHORANNEVISS Mahmood (Islamic Azad Univ., Tehran, IRN) ,  HANTEHZADEH Mohammad Reza (Islamic Azad Univ., Tehran, IRN) ,  DARABI Elham (Islamic Azad Univ., Tehran, IRN)
資料名： Journal of Inorganic and Organometallic Polymers and Materials  (Journal of Inorganic and Organometallic Polymers and Materials)
巻： 27  号： 1  ページ： 61-72  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： W0462A  ISSN： 1574-1443  CODEN： JIOPE4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近,透明な電導性酸化物が注目されており,インジウムスズ酸化物(ITO)が使用されているが,高価,毒性,量的不足などの問題があり,AlドープZnO(AZO)が代替候補の一つである。この研究では,プラズマフォーカス(PF)法のイオンビームを用いてAZO薄フィルムを基板に堆積させ,構造,表面モルフォロジーおよび光学特性に及ぼすプラズマのショット数およびショット角度の影響を調べた。試料は,PF装置を用いてAZOをガラス基板上に室温で堆積させた。試料の特性化には,X線回折,走査型電子顕微鏡,原子間力顕微鏡,光ルミネセンス分光を用いた。プラズマショット数の増加,または角度の減少は,AZOの結晶化度を増加し,フィルム厚さを増した。AZOの粒子および凝集のサイズも,ショット数と角度に依存した。

シソーラス用語： プラズマフォーカス ,  *酸化亜鉛 ,  アルミニウム ,  ドーピング ,  *蒸着膜 ,  結晶度 ,  残留応力 ,  イオンビーム蒸着 ,  微細構造 ,  表面構造 ,  光ルミネセンス ,  表面粗さ
準シソーラス用語： *AZO

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマフォーカス ,  作製 ,  AlドープZnO ,  薄フィルム ,  微細構造 ,  表面モルフォロジー ,  光ルミネセンス