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J-GLOBAL ID：201702219034792688   整理番号：17A1090476

三次元の孤立有限標的のモデリング誤差の影響評価

Evaluating the Effects of Modeling Errors for Isolated Finite 3-D Targets

著者 (3件)： HENN Mark-Alexander (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  BARNES Bryan M. (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  ZHOU Hui (National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10145  号： Pt.2  ページ： 101451E.1-101451E.10  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 線の長さがCD測定に如何に影響するかを調べた。散乱顕微鏡法はモードに基づく多くのOCD測定法の一つで,物理モデルは計算時間とメモリ消費を軽減するためにしばしば無限に長い線を仮定する。任意の三次元構造は無限長の線とは僅かに異なる散乱挙動を示し,この違いは線が短くなると大きくなる。本研究では,193nmの検査波長を用いて,OCDモデルに基づく計測に及ぼすモデリング誤差の影響をシミュレーションにより調べた。特に,長さが4μm以下の線配列のCDを物理モデルにより決定したときにどのような系統誤差が生じるかを調べた。二次元モデルはCD推定値に有意な系統誤差を持ち込むことが分かった。

シソーラス用語： *数値解析 ,  不確実性 ,  評価 ,  感度 ,  三次元 ,  計算機シミュレーション ,  *長さ ,  *光学的測定
準シソーラス用語： *クリティカルディメンジョン ,  影響評価 ,  感度評価 ,  *電磁シミュレーション ,  不確実性評価

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 標的 ,  モデリング ,  誤差 ,  影響評価