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J-GLOBAL ID：201702219086010497   整理番号：17A1358097

Au Au/CNTs接触をもつOhm接触型RF-MEMSスイッチ【Powered by NICT】

An ohmic contact type RF-MEMS switch having Au-Au/CNTs contacts

著者 (6件)： Kageyama Tomoaki (Graduate School of Engineering, Tottori University, Japan) ,  Shinozaki Koichi (Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA), Tsukuba, Japan) ,  Zhang Lan (Research Center for Ubiquitous MEMS and Microengineering, AIST, Tsukuba, Japan) ,  Lu Jian (Research Center for Ubiquitous MEMS and Microengineering, AIST, Tsukuba, Japan) ,  Takaki Hideki (Research Center for Ubiquitous MEMS and Microengineering, AIST, Tsukuba, Japan) ,  Lee Sang-Seok (Graduate School of Engineering, Tottori University, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： NEMS  ページ： 287-290  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,Au Au/CNTs接触を持つOhm接触型RF-MEMSスイッチの作製結果を報告した。Au Au/CNTs接触信頼性とOhm接触型RF-MEMSスイッチの高電力処理能力を改善するために提案した。作製において,Au電気めっきは,スイッチの片持梁で接触を形成するために使用した,Au/CNTs複合めっき皮膜を適用した信号線における接触面積。結果として,Au-Au接触スイッチのそれよりも40GHzと2.7倍長い寿命まで0.7dB以下の低い挿入損失を達成した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *金 ,  信頼性 ,  電気めっき ,  *Ohm接触 ,  挿入損 ,  スループット ,  片持梁 ,  *スイッチ ,  めっき皮膜
準シソーラス用語： 接触面積 ,  高電力 ,  *RF MEMS , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： Au ,  Ohm接触 ,  RF ,  MEMSスイッチ