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文献
J-GLOBAL ID:201702219086010497   整理番号:17A1358097

Au Au/CNTs接触をもつOhm接触型RF-MEMSスイッチ【Powered by NICT】

An ohmic contact type RF-MEMS switch having Au-Au/CNTs contacts
著者 (6件):
資料名:
巻: 2017  号: NEMS  ページ: 287-290  発行年: 2017年
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本論文では,Au Au/CNTs接触を持つOhm接触型RF-MEMSスイッチの作製結果を報告した。Au Au/CNTs接触信頼性とOhm接触型RF-MEMSスイッチの高電力処理能力を改善するために提案した。作製において,Au電気めっきは,スイッチの片持梁で接触を形成するために使用した,Au/CNTs複合めっき皮膜を適用した信号線における接触面積。結果として,Au-Au接触スイッチのそれよりも40GHzと2.7倍長い寿命まで0.7dB以下の低い挿入損失を達成した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
継電器・スイッチ  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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