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J-GLOBAL ID：201702219239451051   整理番号：17A0462465

ウェブ検査システム-生産性向上のための9つのアドバイス 超広視野レーザ走査イメージャ欠陥検査装置の概要

著者 (1件)： 小俣公夫 (オプセル)
資料名： 映像情報Industrial  (映像情報インダストリアル)
巻： 49  号： 4  ページ： 25-32,12  発行年： 2017年04月01日 
JST資料番号： Z0577B  ISSN： 1346-1362  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 欠陥異物の検出では対象欠陥の微小化と検査領域の拡大化の要求が大きくなっているが,従来のカメラ型システムでは困難である。本論文では,1)ポリゴンミラーを用いたラスタ型の共焦点光学系の開発製作,2)広視野で開口数の大きな操作レンズの設計開発製作といった(株)オプセルの独自技術に基づく超広視野レーザ走査イメージャを紹介した。1),2)によって従来の装置に比べて100~1000倍以上の広範囲な画像を一度に取得でき,300MB~30GBの高解像度なレーザ走査光学系を実現した。走査レンズは検査対象物に応じてユーザが選択可能であり,半導体レーザ光源の波長は,i)透明なフィルムやガラス,石英,サファイアなどの表面検査向きの405nm,ii)オーバーコート層の下の内部傷を検査できる650nm,iii)803nmと405nmの2波長を合成した画像の観察のようにカスタマイズが行える。また,2次元データの画像ではわからない表面の精密な凹凸情報を取得するために3次元データを高速で取得したいとの要望があり,リアルタイムで追従するオートフォーカスの利用と3次元スキャナの高速化を図っている。さらに,標準的な構成のレーザ操作イメージャのほか,モスアイ構造を持つフィルムのマクロ全面検査用,及び深さ2mmまでの検査用レーザ操作イメージャ装置を紹介した。

シソーラス用語： *欠陥検査 ,  反射鏡 ,  焦点 ,  光走査 ,  撮像装置 ,  *レンズ ,  レンズ設計 ,  視野 ,  高分解能 ,  検査 ,  穴 ,  実時間処理 ,  焦点合せ ,  光学系 ,  *ウェブ【繊維】 ,  試験装置
準シソーラス用語： イメージャー ,  オートフォーカス ,  ポリゴンミラー ,  レーザ走査 ,  共焦点光学系 ,  高解像度 ,  超広視野 ,  表面検査 ,  検査装置

分類 (3件)： 品質検査  (KB04020L) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K) ,  その他の材料の試験  (HB05000T)

タイトルに関連する用語 (9件)： ウェブ ,  検査システム ,  生産性向上 ,  アドバイス ,  広視野 ,  レーザ走査 ,  イメージャ ,  欠陥検査装置 ,  概要