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J-GLOBAL ID：201702219296024754   整理番号：17A1994660

電位コントラスト法を用いた絶縁劣化個所の故障解析技術

著者 (1件)： 斎藤彰 (村田製作所)
資料名： 日本信頼性学会秋季信頼性シンポジウム発表報文集  (Proceedings of Autumn Symposium on Reliability)
巻： 30th  ページ： 63-66  発行年： 2017年11月27日 
JST資料番号： L5548A  ISSN： 2424-2357  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本発表では,電位コントラスト法の特徴を示すと共に,荷電ビームによる帯電状況から,絶縁劣化個所を特定する方法,および電極間に印加された電圧による電位分布の変化から劣化状況を解析する方法を事例を交えて示す。(著者抄録)

シソーラス用語： *絶縁劣化 ,  *故障解析 ,  *表面電位 ,  *コントラスト ,  *二次電子放出 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  *帯電 ,  供給 ,  誘電体 ,  *絶縁体 ,  電界強度 ,  磁器コンデンサ ,  電位分布
準シソーラス用語： *電位コントラスト法 ,  電圧印加 ,  MLCC

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電位 ,  コントラスト ,  絶縁劣化 ,  個所 ,  故障解析