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J-GLOBAL ID：201702219470004221   整理番号：17A1732459

超音波電力伝送のためのSOI pMUT上のAlN【Powered by NICT】

AlN on SOI pMUTs for ultrasonic power transfer

著者 (2件)： Mehdizadeh Emad (Department of Electrical and Computer Engineering Carnegie Mellon University Pittsburgh, USA) ,  Piazza Gianluca (Department of Electrical and Computer Engineering Carnegie Mellon University Pittsburgh, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IUS  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： のMHz領域の超音波変換器を用いた近傍ベース電力伝送に関する予備的結果を提示した。原理では,市販の超音波プローブによって発射されたバルク音響波(BAW)は曲げモード変換器によって吸収され,直接圧電効果により電気信号に変換した。提案したリンクは共鳴でのエネルギー移動の増強を活用と圧電微細加工超音波変換器(pMUT)により強化した。本研究で使用した窒化アルミニウム(AlN)pMUTは完全CMOS互換性プロセスによるシリコンオンインシュレータ(SOI)基板上に作製した。電力移動効率(PTEs)29dBと 36dBは,プローブは,200μm直径円板pMUTから5mmの距離で直接接触した時に達成した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 微細加工 ,  *送電 ,  *窒化アルミニウム ,  *超音波 ,  円板 ,  電気信号 ,  圧電気 ,  プローブ ,  超音波変換器 ,  エネルギー移動 ,  *電力 ,  互換性
準シソーラス用語： 圧電効果 ,  バルク音響波 ,  超音波プローブ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  量子光学一般  (BD04010X)

タイトルに関連する用語 (4件)： 超音波 ,  電力伝送 ,  SOI ,  AlN