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J-GLOBAL ID:201702219537091500   整理番号:17A0863896

P(VDF/TrFE)薄膜を用いた高周波型MEMS超音波センサ

High Frequency Type MEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films
著者 (5件):
資料名:
巻: PHS-17  号: 14-20  ページ: 21-24  発行年: 2017年06月29日 
JST資料番号: L2897B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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