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J-GLOBAL ID：201702219537091500   整理番号：17A0863896

P(VDF/TrFE)薄膜を用いた高周波型MEMS超音波センサ

High Frequency Type MEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films

著者 (5件)： 田中恒久 (大阪産技研) ,  村上修一 (大阪産技研) ,  佐藤和郎 (大阪産技研) ,  宇野真由美 (大阪産技研) ,  山下馨 (京都工繊大)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-17  号： 14-20  ページ： 21-24  発行年： 2017年06月29日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *音波センサ ,  センサ ,  ダイヤフラム ,  MEMS ,  共振周波数 ,  強誘電性 ,  高分子薄膜 ,  フッ化ビニリデン-トリフルオロエチレン共重合体 ,  キャラクタリゼーション ,  周波数制御 ,  周波数特性
準シソーラス用語： *超音波センサ ,  MEMSセンサ ,  VDF-TrFE

分類 (1件)： その他の音響応用  (BB03100I)

タイトルに関連する用語 (5件)： VDF ,  薄膜 ,  高周波 ,  MEMS ,  超音波センサ