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J-GLOBAL ID：201702219616998266   整理番号：17A1026766

走査顕微鏡法のための近接場マイクロ波CPWアンテナ【Powered by NICT】

Near-field microwave CPW antenna for scanning microscopy

著者 (3件)： Ben Mbarek Sofiane ((Innov’com): Innov’Com Laboratory, SUPCOM, University of Carthage, Tunis, Tunisia) ,  Choubani Fethi ((Innov’com): Innov’Com Laboratory, SUPCOM, University of Carthage, Tunis, Tunisia) ,  Cretin Bernard ((FEMTO-ST): Universite ́ de Franche-Comte ́, CNRS, ENSMM, UTBM, 25044 Besanc,on, France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： EUCAP  ページ： 2812-2815  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,近接場応用のための非従来型コプレーナマイクロ波アンテナを示した。電気プローブは,コプレーナ線路と点効果の組合せである。クリーンルーム技術を用いたマイクロアンテナのプロトタイプを達成した。酸化問題を克服するために,金属構造として金を選択した。シリコンの損失を低減するために酸化したシリコン基板を用いた。実施した測定とシミュレーションは,アンテナは縦電場に敏感で主であることを示した。推定感度は30μV/(V/m)である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 金 ,  *アンテナ ,  プロトタイプ ,  ケイ素 ,  プローブ ,  酸化 ,  *近接場 ,  コプレーナ導波路 ,  金属構造 ,  *マイクロ波 ,  電場 ,  クリーンルーム
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  *走査顕微鏡 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 伝送線  (NC04030C) ,  集積回路一般  (NC03161C) ,  半導体集積回路  (NC03162T) ,  アンテナ  (ND06000M) ,  R,L,C,Q,インピーダンス,誘電率の計測法・機器  (AD07030N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 走査顕微鏡 ,  近接場 ,  マイクロ波 ,  CPW ,  アンテナ