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J-GLOBAL ID：201702219644250340   整理番号：17A0632708

ピエゾ-光学効果を利用したフレキシブルなSi膜-ZnOヘテロ接合の増強したUV-可視光検出特性

Enhanced UV-visible photodetection characteristics of a flexible Si membrane-ZnO heterojunction utilizing piezo-phototronic effect

著者 (5件)： SARKAR Arijit (Indian Inst. of Technol., Kharagpur, IND) ,  KATIYAR Ajit K (Indian Inst. of Technol., Kharagpur, IND) ,  MUKHERJEE Subhrajit (Indian Inst. of Technol., Kharagpur, IND) ,  RAY Samit K (Indian Inst. of Technol., Kharagpur, IND) ,  RAY Samit K (S.N. Bose National Centre for Basic Sci., Kolkata, IND)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 50  号： 14  ページ： 145104,1-8  発行年： 2017年04月12日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 紫外,可視光に敏感なn-ZnO/p-Si膜ヘテロ接合フレキシブル光検出器を開発した。フレキシブルSi膜上へZnO薄膜を蒸着すると,ピエゾ光学効果が観測された。~3.0μm厚のSi膜はSiウエハをアルカリエッチして作製し,ZnO薄膜はRFスパッタリングにより蒸着した。零バイアスのとき,~490nmで検出率が4.8×10¹¹cmHz^1/2W^-1のピーク応答率0.20AW^-1を観測した。ZnO薄膜に発生する歪誘起圧電位によって,光発生キャリアの輸送特性が変調され,素子の性能が増大することを示した。外部引張応力を徐々に増大すると,光電流は22%増大した。

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *ケイ素 ,  化合物半導体 ,  ヘテロ接合 ,  *光検出器 ,  装置 ,  部材 ,  部品 ,  光電流 ,  半導体薄膜 ,  RFスパッタリング ,  エッチング ,  効果
準シソーラス用語： *ピエゾ光学効果 ,  フレキシブルデバイス ,  酸化物半導体

分類 (1件)： 測光と光検出器一般  (BD07031F)

タイトルに関連する用語 (6件)： 光学 ,  Si膜 ,  ZnO ,  ヘテロ接合 ,  増強 ,  可視光