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J-GLOBAL ID:201702219840382256   整理番号:17A1243725

実例としての半極性ウルツ鉱型材料()配向ZnMgO/ZnOヘテロ構造における混成多重回折【Powered by NICT】

Hybrid multiple diffraction in semipolar wurtzite materials: ()-oriented ZnMgO/ZnO heterostructures as an illustration
著者 (5件):
資料名:
巻: 50  号:ページ: 1165-1173  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0631A  ISSN: 0021-8898  CODEN: JACGAR  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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X線回折は半導体ヘテロ構造の構造特性(歪と構造品質)を特性化するために広く使用されている。ハイブリッド多重回折を採用したZnO基板上に分子ビームエピタクシーにより成長させたR配向Zn_1 xMg_xO層を解析した。このような低対称性材料系では,付加的な特徴は対称反射スキャン,ハイブリッド多重回折から生じるとして記載されているに現れた。最初に,これらの高次過程が起るのに必要なBragg条件を導入し,適用したすべての観測された衛星反射を説明する,そこではそれらが観察された角を事前に寄与し,計算する面を同定した。さらに,このハイブリッド多重回折技術のおかげで,それは標準的な対称条件で単一測定を用いて容易で正確な方法で層格子パラメータ(面内と面外)を決定することができた。達成された精度は対称及び非対称逆空間マップ測定の組み合わせから得られたものと少なくとも同程度に高かった。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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X線回折法 

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