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J-GLOBAL ID：201702219885158003   整理番号：17A1051371

位相変調分光偏光解析法によるTiAlC/TiAlCN/TiAlSiCN/TiAlSiCO/TiAlSiOタンデム吸収体の光学的性質

Optical properties of TiAlC/TiAlCN/TiAlSiCN/TiAlSiCO/TiAlSiO tandem absorber coatings by phase-modulated spectroscopic ellipsometry

著者 (7件)： JYOTHI J. (CSIR, Bangalore, IND) ,  JYOTHI J. (National Inst. of Technol., Mangalore, IND) ,  BISWAS A. (Bhabha Atomic Res. Center, Mumbai, IND) ,  SARKAR P. (Bhabha Atomic Res. Center, Mumbai, IND) ,  SOUM-GLAUDE A. (Lab. PROMES, CNRS, Font-Romeu Odeillo, FRA) ,  NAGARAJA H. S. (National Inst. of Technol., Mangalore, IND) ,  BARSHILIA Harish C. (CSIR, Bangalore, IND)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 123  号： 7  ページ： 496,1-10  発行年： 2017年07月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 太陽電池のタンデム吸収体となるTiAlC,TiAlCN,TiAlSiCN,TiAlSiCO,TiAlSiO層をマグネトロンスパッタリングでステンレス鋼基板上にそれぞれ堆積し,位相変調分光解析法によりUV-Vis-NIR領域でのその屈折率や消衰係数の波長依存性を調べた。次いでこれらをステンレス基板上に逐次積層したTiAlC/TiAlCN/TiAlSiCN/TiAlSiCO/TiAlSiO(62/20/18/16/27nm)タンデム吸収体の積層毎に測定した反射率スペクトルはシミュレーション結果とよく一致した。さらにそれらのTE,TM偏光に対する平均反射率スペクトルの入射角依存性を測定した。

シソーラス用語： *位相変調 ,  *偏光解析法 ,  直列接続 ,  *吸収体 ,  *光学的性質 ,  選択吸収膜 ,  太陽電池 ,  *多層膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  ステンレス鋼 ,  屈折率 ,  係数 ,  *光学定数 ,  *光吸収スペクトル ,  反射率 ,  シミュレーション ,  角度依存性 ,  *反射防止膜 ,  集光器
準シソーラス用語： *分光偏光解析法 ,  消衰係数 ,  数値シミュレーション ,  入射角依存性

分類 (5件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  太陽エネルギー利用機器  (QE05020H) ,  偏光測定と偏光計  (BD07050K) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 位相変調 ,  分光偏光解析法 ,  タンデム ,  吸収体 ,  光学的性質