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J-GLOBAL ID：201702219978891777   整理番号：17A0401046

高感度と温度安定性を備えたTeO_2/ZnO(112 0)/Si(100)の多層膜に基づくLoveモード弾性表面波素子【Powered by NICT】

Love-mode surface acoustic wave devices based on multilayers of TeO₂/ZnO ( 1 1 2 0 ) /Si(100) with high sensitivity and temperature stability

著者 (9件)： Luo Jing-Ting (College of Physics and Energy, Shenzhen Key Laboratory of Sensor Technology, Shenzhen University, 518060, China) ,  Luo Jing-Ting (Faculty of Engineering and Environment, Northumbria University, Newcastle upon Tyne NE1 8ST, UK) ,  Quan Ao-Jie (College of Physics and Energy, Shenzhen Key Laboratory of Sensor Technology, Shenzhen University, 518060, China) ,  Liang Guang-Xing (College of Physics and Energy, Shenzhen Key Laboratory of Sensor Technology, Shenzhen University, 518060, China) ,  Zheng Zhuang-Hao (College of Physics and Energy, Shenzhen Key Laboratory of Sensor Technology, Shenzhen University, 518060, China) ,  Ramadan Sami (Institute of Cellular Medicine, Newcastle University, Newcastle upon Tyne NE2 4HH, UK) ,  Fu Chen (Institute of Cellular Medicine, Newcastle University, Newcastle upon Tyne NE2 4HH, UK) ,  Li Hong-Lang (Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences, 100190 Beijing, China) ,  Fu Yong-Qing (Faculty of Engineering and Environment, Northumbria University, Newcastle upon Tyne NE1 8ST, UK)
資料名： Ultrasonics  (Ultrasonics)
巻： 75  ページ： 63-70  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0379B  ISSN： 0041-624X  CODEN： ULTRA3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TeO_2/交差指形変換器(IDT)/ZnO(112 0)/Si(100)の多層構造を提案し,研究バイオセンシング応用のための高感度と温度安定性の両方を達成した。多層構造における位相速度,電気機械結合係数K~2,遅延温度係数(TCD)と感度の分散はZnO(H ZnO/λ)とTeO_2(h_TeO2/λ)膜の正規化厚さの関数としてシミュレートした。Loveモード(LM)表面音響波(SAW)の基本モードは大きな値K~2及び第1モードのそれと比較して,より高い感度を示した。正のTCDとTeO_2膜はZnO(112 0)/Si(100)の負のTCDによって誘起された温度効果を補償するだけでなく,ラブモードデバイスの感度を増強した。最適正規化厚さ比はh_TeO2/λ=0.021とH ZnO/0.304であることを確認し,そのような構造をもつ素子は, 1.04×10~ 3m~3kgの正規化感度,0.009ppm/°CのTCD,及び2.76%のK~2値を生成することができる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 多層構造 ,  温度係数 ,  温度依存性 ,  バイオセンサ ,  正規化 ,  *多層膜 ,  位相速度 ,  *弾性表面波 ,  *弾性表面波素子 ,  *酸化亜鉛 ,  *高感度 ,  基準モード
準シソーラス用語： 電気機械結合係数 ,  *温度安定性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 弾性表面波 ,  Love波 ,  多層構造 ,  ZnO膜

分類 (3件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高感度 ,  温度安定性 ,  ZnO ,  Si ,  多層膜 ,  弾性表面波素子