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J-GLOBAL ID：201702220024405504   整理番号：17A1358057

階層的しわ構造をもつ新しい多機能自己出力型圧力センサ【Powered by NICT】

A novel multi-functional self-powered pressure sensor with hierarchical wrinkle structure

著者 (6件)： Miao Li-Ming (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing 100871, CHINA) ,  Cheng Xiao-Liang (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing 100871, CHINA) ,  Song Yu (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing 100871, CHINA) ,  Chen Hao-Tian (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing 100871, CHINA) ,  Meng Bo (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing 100871, CHINA) ,  Zhang Hai-Xia (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing 100871, CHINA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： NEMS  ページ： 114-117  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧力を検出でき,機械的エネルギーを収穫することができる階層的しわ構造をもつ新しい多機能自己出力型圧力センサを報告した。階層的しわ構造の利用に由来して,このデバイスは0.15ms(立ち上がり時間)と0.7ms(放出時間)の優れた応答性能を持つ2.0kPa 1の高感度を示した。さらに,PDMS層とITO層の接触に由来するふっ化PDMSしわ構造上の高密度表面電荷デバイスはエネルギー収穫器として作用することを可能にした。自己出力型圧力センサを異なる刺激(曲げと圧力)を見つけ出すことができる,素子は曲げを受ける300Vと3μAを発生する圧力下で75Vと17μAを生成した。,デバイスは,外部電池に依存せず機械刺激を識別同定に利用することができる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 表面電荷 ,  機械刺激 ,  *圧力センサ ,  高感度 ,  ポリジメチルシロキサン ,  電池
準シソーラス用語： エネルギーハーベスティング ,  高密度 ,  立上り時間 ,  力学的エネルギー ,  *多機能 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (4件)： しわ ,  多機能 ,  自己 ,  圧力センサ