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J-GLOBAL ID：201702220058032924   整理番号：17A0697618

リニアステージのための新しい6度の自由幾何学的誤差測定システムの設計と実験的検証【Powered by NICT】

Design and experimental verification of novel six-degree-of freedom geometric error measurement system for linear stage

著者 (4件)： Chen Yu-Ta (Department of Mechanical Engineering and Advanced Institute of Manufacturing with High-Tech Innovations, National Chung Cheng University, No. 168, University Road, Minhsiung Township, Chiayi County 62102, Taiwan) ,  Lin Wei-Chen (Department of Mechanical Engineering and Advanced Institute of Manufacturing with High-Tech Innovations, National Chung Cheng University, No. 168, University Road, Minhsiung Township, Chiayi County 62102, Taiwan) ,  Liu Chien-Sheng (Department of Mechanical Engineering and Advanced Institute of Manufacturing with High-Tech Innovations, National Chung Cheng University, No. 168, University Road, Minhsiung Township, Chiayi County 62102, Taiwan) ,  Liu Chien-Sheng (Graduate Institute of Opto-Mechatronics, National Chung Cheng University, No. 168, University Road, Minhsiung Township, Chiayi County 62102, Taiwan)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 92  ページ： 94-104  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,工作機械の移動中のリニアステージの六自由度(6 DOF)における幾何学的誤差を同時に測定するための新規で簡単な測定システムを設計し,検証した。レーザ干渉計とレーザDopplerシステムと比較して,この新しい測定システムは安価で多機能のことが可能である。提案した測定システムは光学モジュール,二反射器と二立方晶ビームスプリッタからなるから構成されているセンシングモジュール,三+二次元位置有感検出器の構成は(PSD)ヘリウム-ネオン(He Ne)レーザと。スキュー光線と一次Taylor級数展開を用いて,並進と回転誤差を含む移動リニアステージの6自由度形状誤差を解析した。実験室プロトタイプシステムを提案した測定システムの有効性と精度を検証するために構築した。実験結果は,変位の不確実性と提案した測定システムの角度不確実性は1.2μm以下と0.4′′であった。Renishaw社のレーザ干渉計XL,80レーザシステムと比較して,リニアステージは6mmの移動時に翻訳の正確さと提案した測定システムの回転精度は,それぞれ,±1μmと±0.2′′より少なかった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ビームスプリッタ ,  自由度 ,  不確実性 ,  線形性 ,  二次元 ,  レーザ干渉計 ,  レーザシステム ,  レーザ ,  *計測システム ,  位置有感検出器 ,  反射器 ,  工作機械 ,  ヘリウム ,  光子ビーム
準シソーラス用語： *リニアステージ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 線形段階 ,  誤差測定 ,  6自由度形状誤差 ,  工作機械

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (7件)： リニアステージ ,  幾何学 ,  誤差 ,  測定システム ,  設計 ,  実験 ,  検証