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J-GLOBAL ID：201702220202542475   整理番号：17A1324817

ナノ酸化インジウム/ケイ素ナノピラーアレイの酒の特性を特性化した。【JST・京大機械翻訳】

Ethanol Sensing Properties of Nano-sized In2O3 Grown onSilicon Nanoporous Pillar Array

著者 (6件)： Zhu Wenliang (鄭州大学 物理工程学院 河南 鄭州 450001) ,  Wang Lingli (鄭州軽工業学院 物理与電子工程学院 河南 鄭州 450002) ,  Wang Wenchuang (河南工程学院 理学院 河南 鄭州 450019) ,  Feng Minghai (鄭州大学 物理工程学院 河南 鄭州 450001) ,  Liu Weikang (鄭州大学 物理工程学院 河南 鄭州 450001) ,  Li Xinjian (鄭州大学 物理工程学院 河南 鄭州 450001)
資料名： Zhengzhou Daxue Xuebao (Lixue Ban)  (Zhengzhou Daxue Xuebao (Lixue Ban))
巻： 49  号： 1  ページ： 70-74  発行年： 2017年 
JST資料番号： C3255A  ISSN： 1671-6841  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 酸化インジウム(In2O3)/Si-NPA複合ナノ複合材料を,ケイ素ナノポーラスアレイ(Si-NPA)を用いて,化学蒸着法によって調製し,そして,表面形態および構造を,化学蒸着法によって特性評価した。結果により,In2O3/Si-NPA中のIn2O3は体心立方構造を持ち,その薄膜は直径100~400nmのナノ粒子および長さ約1μm,直径約300nmのナノロッドからなることが分かった。これらのナノ粒子とナノロッドは平均直径が約19nmのIn2O3ナノ結晶からなる。ガスセンシング性能試験結果は,In2O3/Si-NPAが,低含有量のアルコールに対して高い応答性と良好な選択性を有することを示した。アルコールの体積分率が2×10-6のとき,デバイスの応答値は463%に達し,応答と回復時間はそれぞれ15sと8sであった。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ナノ複合材料 ,  ナノ粒子 ,  アルコール ,  化学蒸着 ,  ナノロッド ,  *酸化インジウム ,  応答特性 ,  ナノ結晶 ,  *キャラクタリゼーション ,  体積率 ,  薄膜 ,  性能試験
準シソーラス用語： 回復時間 ,  表面形態 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： silicon nanoporous pillar array ,  In2O3 ,  gas sensor

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸化インジウム ,  ケイ素 ,  ナノピラー ,  アレイ ,  酒 ,  特性化