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J-GLOBAL ID：201702220210593388   整理番号：17A0443958

反応性スパッタリングにより成長させたBi_2O_3薄膜の構造,形態,および光学的性質【Powered by NICT】

Structural, morphological, and optical properties of Bi₂O₃ thin films grown by reactive sputtering

著者 (8件)： Lunca Popa P. (Department of Physics, Chemistry and Biology, IFM, Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden) ,  Lunca Popa P. (Materials Research and Technology Department (MRT), Luxembourg Institute of Science and Technology (LIST), L-4422 Belvaux, Luxembourg) ,  Sonderby S. (Department of Physics, Chemistry and Biology, IFM, Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden) ,  Sonderby S. (Danish Technological Institute, Tribology Centre, Teknologiparken, Kongsvang Alle 29, DK-8000 Aarhus C, Denmark) ,  Kerdsongpanya S. (Department of Physics, Chemistry and Biology, IFM, Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden) ,  Lu J. (Department of Physics, Chemistry and Biology, IFM, Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden) ,  Arwin H. (Department of Physics, Chemistry and Biology, IFM, Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden) ,  Eklund P. (Department of Physics, Chemistry and Biology, IFM, Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 624  ページ： 41-48  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Bi_2O_3薄膜は金属Biターゲットからの反応性RFスパッタリングを用いて成長させた。膜の形態,構造及び光学的性質に及ぼす種々の蒸着パラメータ(基板温度,作用ガス中のターゲットと酸素含有量に及ぼす印加電力)の影響を調べた。作動ガスのO_2/(Ar+O_2)比に依存して,ビスマス,δBi_2O_3,αBi_2O_3又はこれらの相の混合物を堆積させ,[111]-配向δBi_2O_3薄膜の成長のための狭い窓を有することができる。δBi_2O_3相は350°C(空気中)まで室温から安定であり,αBi_2O_3への不可逆転移が起こる。相変態もTEM試料調製中に生じ,イオンミリングプロセスから固有の加熱のために,液体窒素冷却を用いた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *反応性 ,  *薄膜 ,  試料調製 ,  RFスパッタリング ,  電力 ,  *光学的性質 ,  液体窒素 ,  蒸着 ,  *ビスマス ,  基板温度 ,  *反応性スパッタリング ,  印加電圧
準シソーラス用語： 三相 ,  酸素含有量 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 酸化ビスマス ,  反応性スパッタリング ,  相転移

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 反応性スパッタリング ,  成長 ,  薄膜 ,  形態 ,  光学的性質