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J-GLOBAL ID：201702220254920469   整理番号：17A1036149

動的増幅二重質量ジャイロスコープにおける構造不完全性の静電補償【Powered by NICT】

Electrostatic compensation of structural imperfections in dynamically amplified dual-mass gyroscope

著者 (4件)： Efimovskaya Alexandra (MicroSystems Laboratory, University of California, Irvine, 92697, USA) ,  Yu-Wei Lin (MicroSystems Laboratory, University of California, Irvine, 92697, USA) ,  Danmeng Wang (MicroSystems Laboratory, University of California, Irvine, 92697, USA) ,  Shkel Andrei M. (MicroSystems Laboratory, University of California, Irvine, 92697, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： INERTIAL  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 不完全性の存在下で二重質量MEMS振動ジャイロスコープの動力学に関する研究を行い,操作モードの精密静電周波数同調の方法を報告した。提示したチューニングアルゴリズムは,第一に,両試験質量の実験的周波数応答,二軸と非等方弾性角度に沿ってとそれに続く剛性の不整合の同定を用いてモード不整合を評価するαおよびβ含む,剛性マトリックスにおける対角,非対角,結合項の改質のための同調電圧を選択する。シミュレーションの結果は,動的に増幅されたジャイロスコープの実験的静電周波数同調を用いて検証した。運転モード間の分裂周波数は26Hzから50mHzまでから還元したジャイロスコープスケール因子17×増加がもたらされた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 剛性マトリックス ,  運転モード ,  スケール因子 ,  弾性 ,  *ジャイロスコープ ,  同調 ,  剛性 ,  *不整 ,  電圧 ,  周波数応答 ,  不整合 ,  MEMS ,  周波数 ,  二軸
準シソーラス用語： 周波数同調 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 増幅 ,  質量 ,  ジャイロスコープ ,  不完全性 ,  補償