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J-GLOBAL ID：201702220377676877   整理番号：17A1665785

大口径半球状基底膜の均一性の解析【JST・京大機械翻訳】

Analysis on Membrane Layer Uniformity of Large Diameter Hemispherical Basemen

著者 (2件)： Gao Jian (長春理工大学 光電工程学院,長春,130022) ,  Fu Xinhua (長春理工大学 光電工程学院,長春,130022)
資料名： Changchun Ligong Daxue Xuebao (Ziran Kexue Ban)  (Changchun Ligong Daxue Xuebao (Ziran Kexue Ban))
巻： 40  号： 2  ページ： 53-56  発行年： 2017年 
JST資料番号： C3181A  ISSN： 1672-9870  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 半球面大口径球状光学素子の膜均一性について理論的に研究した。半球表面の表面の数学モデルを確立することによって,膜表面の膜厚分布を,膜厚の理論式を用いて表現した。蒸発源の異なる位置が膜の均一性に与える影響を推定し、同時に理想的な点源、小面源と実際の蒸発特性が膜厚に与える影響について分析した。本研究は、大曲率半球膜のめっき技術に対して一定の指導意義があり、この種の表面膜の均一性を改善する上で理論的根拠を提供した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 数学モデル ,  *大口径 ,  膜厚 ,  光学素子 ,  面汚染源 ,  球面 ,  *基底膜 ,  蒸発 ,  めっき
準シソーラス用語： 蒸発源 ,  理論式 ,  膜厚分布 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： large-caliber optical element ,  vacuum coating ,  film thickness uniformity ,  the inner surface

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 大口径 ,  半球 ,  基底膜 ,  均一性 ,  解析