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J-GLOBAL ID：201702220475884617   整理番号：17A1523557

H2/Ar流量比がナノダイヤモンドの形態と構造に及ぼす影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of H2/Ar Flow Rate on Morphology and Structure of Nanocrystalline Diamond

著者 (5件)： Xiong Liwei (武漢工程大学 材料科学与工程学院,武漢,430074) ,  Peng Huanyang (武漢工程大学 材料科学与工程学院,武漢,430074) ,  Wang Jianhua (武漢工程大学 材料科学与工程学院,武漢,430074) ,  Cui Xiaohui (武漢工程大学 材料科学与工程学院,武漢,430074) ,  Gong Guohua (武漢工程大学 材料科学与工程学院,武漢,430074)
資料名： Biaomian Jishu  (Biaomian Jishu)
巻： 46  号： 1  ページ： 45-50  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2656A  ISSN： 1001-3660  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 目的:異なるH2/Ar流量比がナノダイヤモンドの形態と構造に与える影響を研究する。方法:MPECVD法により、品質のよいナノダイヤモンド薄膜を調製し、SEM、XRDにより、ダイヤモンド薄膜の形態、構造及び結晶粒サイズに対してテストを行った。また,Ramanピークを用いて,ダイヤモンドDピークとナノダイヤモンドピーク(TPA)の変化傾向を解析した。結果:Q(H2);Q(Ar)=50;49の時に、調製したダイヤモンド結晶粒はサブミクロンの範疇であり、その平均結晶粒径は250nmで、表面の平坦度は比較的に悪く、堆積層の誤った現象が現れたが、ダイヤモンドのピーク(Dピーク)が最も強く、成長速度が最大で、約125nm/hであった。Q(H2);Q(Ar)=10:89の場合、表面の平坦度が高く、二次核形成現象が顕著であり、平均結晶粒径が20nmであった。さらに,H2/Ar流量比が0になると,ナノ結晶から超ナノ粒子に変化し,二次核形成はより明白で,表面はより高く,平均結晶粒度は約3nmであり,またRamanスペクトルはH2/Ar流量比の減少と共に減少することを示した。一方,ナノダイヤモンドの特性ピークは,H2/Ar流量比の減少とともに増加した。結論:H2/Ar流量比の増加に伴い、ダイヤモンド表面の平坦度が次第に悪くなり、表面粗さも徐々に増大し、同時にダイヤモンドの結晶粒サイズと成長速度はQ(H2)になる。Q(Ar)=50;49時に最大に達した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ナノ結晶 ,  結晶粒径 ,  薄膜 ,  ナノ粒子 ,  *ダイヤモンド ,  成長速度 ,  X線回折 ,  結晶粒度 ,  結晶粒 ,  核形成 ,  Ramanスペクトル
準シソーラス用語： 平面度 ,  ダイヤモンド膜 ,  *ナノダイヤモンド ,  *流量比 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： H2/Ar flow ratio ,  NCD film ,  surface morphology ,  MPECVD ,  flatness ,  grain size

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： H2 ,  Ar ,  流量比 ,  ナノダイヤモンド ,  形態