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J-GLOBAL ID：201702220497439558   整理番号：17A1051370

光硬化性ポリジメチルシロキサン(PDMS)を使った2D/3D構造のUVレーザ直接描画

UV laser direct writing of 2D/3D structures using photo-curable polydimethylsiloxane (PDMS)

著者 (8件)： OBATA Kotaro (Laser Zentrum Hannover e.V., Hannover, DEU) ,  SLOBIN Shayna (Laser Zentrum Hannover e.V., Hannover, DEU) ,  SCHONEWILLE Adam (Laser Zentrum Hannover e.V., Hannover, DEU) ,  HOHNHOLZ Arndt (Laser Zentrum Hannover e.V., Hannover, DEU) ,  UNGER Claudia (Laser Zentrum Hannover e.V., Hannover, DEU) ,  KOCH Juergen (Laser Zentrum Hannover e.V., Hannover, DEU) ,  SUTTMANN Oliver (Laser Zentrum Hannover e.V., Hannover, DEU) ,  OVERMEYER Ludger (Laser Zentrum Hannover e.V., Hannover, DEU)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 123  号： 7  ページ： 495,1-5  発行年： 2017年07月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： UVレーザ直接描画によりUV硬化性ポリジメチルシロキサン(PDMS)の2D,3D構造を形成した。まず,ガラス基板上に塗布した厚さ14μmのUV硬化性PDMS上をUVレーザでライン走査し,PDMSのUV重合化によって18~47μmの線幅をもつ線アレイを形成し,レーザパワーと線幅の関係を調べた。次いで2D ロゴパターンを描いた。さらに直径1.5mm,高さ3.0mmの6本の柱とそれに支えられた厚さ0.5mmの蜘蛛の網目からなる3D構造を形成した。この構造は透明で,表面は滑らかで,網目は直径7mm,重量1.49gの鋼鉄球を支える強さと弾力がある。

シソーラス用語： *光重合型樹脂 ,  *ポリジメチルシロキサン ,  二次元 ,  三次元 ,  *紫外レーザ ,  *レーザリソグラフィー ,  光重合 ,  光走査 ,  *レーザ出力 ,  *機械的強度 ,  *弾性 ,  パターン形成
準シソーラス用語： *光硬化性樹脂 ,  *レーザ直接描画

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザの応用  (BD04100V) ,  その他の成形  (YH04090Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： 光硬化 ,  ポリジメチルシロキサン ,  PDMS ,  2D ,  3D ,  UVレーザ ,  直接描画