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J-GLOBAL ID：201702220773594661   整理番号：17A1724264

運動抵抗低減のためのギャップ閉鎖機構を持つ容量Lameモード共振器【Powered by NICT】

Capacitive Lame ́ mode resonator with gap closing mechanism for motional resistance reduction

著者 (2件)： Elsayed Mohannad Y. (Electrical Engineering Department E ́cole de Technologie Supe ́rieure Montreal, Canada) ,  Nabki Frederic (Electrical Engineering Department E ́cole de Technologie Supe ́rieure Montreal, Canada)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： EFTF IFCS  ページ： 203-205  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Lameモード共振器を特徴とする製造技術の限界を克服するために容量伝達ギャップを減らすサブミクロン値に静電力を用いた新しいギャップ閉鎖機構を提示した。は顕著な共振器損失と運動抵抗低減は振動維持回路の設計を簡略化するとして非常に有利に導いた。プロトタイプを市販のシリコン・オン・インシュレータ技術,MEMSCAPからPiezoMUMPsで作製した。共振器構造と電極間の55Vの直流電圧を印加すると,ギャップは2.5μmから0.5μmに減少した。120,000の品質因子を持つ18MHzの共振周波数は1mTorrの真空下で観察した。55V,56Ω,同じ電圧でギャップ巻き締め機を含まない類似設計のそれよりも5倍低いの運動抵抗に相当するで測定した55dBの損失。周波数同調範囲もギャップ減少,周囲条件と製造のばらつきを克服するための非常に有用であるの結果として有意に増加した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 直流電圧 ,  簡素化 ,  SOI構造 ,  生産技術 ,  共振周波数 ,  *共振器 ,  電圧 ,  プロトタイプ
準シソーラス用語： 周波数同調 ,  品質因子 ,  静電気力 ,  *抵抗低減 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 運動 ,  抵抗低減 ,  ギャップ ,  閉鎖 ,  共振器